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付志明

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院半导体研究所更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文专利

主题

  • 1篇对光
  • 1篇直面
  • 1篇散射
  • 1篇散射损耗
  • 1篇竖直
  • 1篇竖直面
  • 1篇模斑转换器
  • 1篇刻蚀
  • 1篇刻蚀深度
  • 1篇衬底

机构

  • 1篇中国科学院

作者

  • 1篇储涛
  • 1篇叶彤
  • 1篇付云飞
  • 1篇李锟
  • 1篇王莹
  • 1篇付志明

年份

  • 1篇2015
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
波导三维模斑转换器
本发明公开了一种三维波导模斑转换器及其制作方法，这种模斑转换器包含平板形状的衬底、设置在所述衬底上的下包层以及设置在所述下包层上传输、转换光模斑的芯层。利用高度和宽度的变化实现在水平和竖直面上对光进行扩展或压缩。这种波导...
叶彤储涛付云飞李锟王莹付志明
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共1页<1>
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