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丁涛

作品数：2 被引量：10H指数：1
供职机构：吉林大学电子科学与工程学院更多>>
相关领域：电气工程电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇电气工程

主题

  • 2篇激光
  • 1篇电池
  • 1篇电化学
  • 1篇准分子
  • 1篇刻蚀
  • 1篇光电
  • 1篇光电池
  • 1篇分子
  • 1篇半导体
  • 1篇INP材料
  • 1篇GAAS

机构

  • 2篇吉林大学

作者

  • 2篇任临福
  • 2篇丁涛
  • 2篇张玉书
  • 1篇张庆有
  • 1篇石景龙

传媒

  • 1篇吉林大学自然...
  • 1篇中国激光

年份

  • 1篇1992
  • 1篇1990
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
用准分子激光诱导湿刻实现对GaAs的图形转换被引量：10
1992年
本文报告的是利用准分子激光诱导湿刻和光刻技术相结合的方法,实现了对GaAs的图形转换。发现由GaAs表面的金膜、水溶液和GaAs构成的系统中,金膜不仅起了光掩蔽的作用,而且还起了促进刻蚀作用。结果说明这是一个电化学光电池结构。
张玉书丁涛任临福
关键词：电化学光电池激光
InP材料UV激光直接刻蚀研究
1990年
利用UV激光的光解剥离(APD)效应,对半导体材料InP进行了直接刻蚀研究,获得了良好的结果。采用波长为308nm,光脉冲宽度20ns的XeCl)准分子激光器,APD刻蚀的光能量密度阈值为390mJ/cm^2;与理论结果相比较,两者具有良好的一致性。同时给出了刻蚀深度与脉冲速率及脉冲时间的实验曲线。
张玉书张庆有任临福丁涛石景龙
关键词：半导体激光刻蚀准分子
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共1页<1>
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