王洪建
- 作品数：8 被引量：2H指数：1
- 供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所更多>>
- 相关领域：电子电信环境科学与工程理学一般工业技术更多>>
- 供液系统在湿法清洗设备上的应用
- 2016年
- 文章介绍了一种应用于湿法清洗设备的供液系统,该系统配备若干个供液基站完成药液的配置工作,通过气动泵将配好的药液泵入清洗槽。该系统能够有效减少作业人员接触化学药品,不仅能提高湿法清洗设备的药液精度,而且可以提升湿法清洗设备的安全性。
- 毛善高王洪建刘凯文
- 关键词：模拟量
- EtherCAT分布式运动控制系统在湿化学设备中的应用
- 2020年
- 为解决传统控制系统控制结构封闭,兼容性差以及缺乏网络通信功能等弊端,满足湿化学设备在行业应用中的自动化和智能化需求,将以太网控制自动化技术应用于设备控制架构,搭建应用平台,构建适用于湿化学设备的分布式运动控制系统。简化了网络拓扑配置,提高了系统运动控制的实时性,满足设备应用需求,提升设备在行业应用中的适应性和扩展性。
- 王洪建刘凯文李永红何川张玮琪
- 关键词：分布式运动控制
- 超声波发生器的研究及应用
- 2016年
- 超声波系统作为半导体行业湿法清洗设备的重要配置,无论是在晶元抛光后清洗还是在化学机械平坦化(CMP)后清洗中都是影响清洗效果的关键一环。由于国外超声波系统价格昂贵并且供货周期长,而国内超声波系统效果不稳定性,针对以上因素自制研发了CS1200型超声波系统,并在多台清洗机上实际应用。
- 王洪建毛善高李长城
- 关键词：超声波清洗
- 大尺寸熔石英元件慢拉干燥工艺系统设计
- 2025年
- 针对大尺寸熔石英元件的湿法清洗及干燥工艺要求,设计一种可用于大尺寸熔石英元件的慢拉干燥工艺系统,在大尺寸熔石英元件湿法清洗工艺完成后,经过慢拉干燥可以实现光学元件洁净干出。大尺寸熔石英元件的慢拉干燥工艺系统主要由慢拉工艺槽体、超纯水预热槽体、管路系统、慢拉机构等组成,具备3种工艺模式:常温水慢拉、慢拉槽单独热水慢拉、慢拉槽与预热槽共用热水慢拉。常温水慢拉模式过程控制简单,但相关慢拉速度会影响工艺指标,通常慢速会有较好的干燥工艺效果,但慢拉工艺时间长,熔石英元件暴露在环境的时间也会变长,会有增加熔石英元件表面颗粒的风险。单独热水慢拉模式可以将温度维持恒定,该慢拉模式可以很好地保证慢拉工艺效果的一致性,但由于管路复杂度提高,实际生产中,每进行几批次慢拉工艺就需要排空工艺槽,然后进行清洗工艺槽体和管路,主要避免工艺槽及管路内污染物的累积而影响熔石英元件表面质量。慢拉槽与预热槽双循环加热模式,加热效率提升一倍,可以有效弥补槽体管路表面的热损失,生产效率高,更好地适合产线上的连续生产,但硬件成本高,控制逻辑相对复杂,维护难度也相应增加。可以根据实际生产工艺需求进行选择不同工艺模式。
- 郭立刚吴楠艾海丰孟繁盾王洪建
- SiC功率器件制造中的湿法工艺设备研究
- 2022年
- 简述了SiC功率器件制造工艺流程,对常用的抛光片清洗、RCA清洗、SPM湿法去胶、有机去胶、SiO2腐蚀、金属腐蚀和金属剥离等湿法设备进行了应用研究,对于提升SiC功率器件成品率起着重要的作用。
- 宋文超贾祥晨李家明王洪建刘广杰
- 集成电路湿法工艺与湿法设备制造技术研究被引量：2
- 2022年
- 简述了集成电路制造中的湿法工艺,重点介绍了栅氧清洗、RCA清洗、去胶、氮化硅去除、氧化硅腐蚀等湿法工艺,并对槽式湿法设备的关键制造技术进行了讲解。
- 宋文超李家明贾祥晨刘广杰王洪建
- 关键词：集成电路湿法工艺
- 基于先进封装的硅通孔镀铜工艺仿真分析
- 2023年
- 在硅通孔镀铜填充中,形成的空洞或缝隙都会导致芯片出现严重的质量问题。通过仿真分析促进剂和抑制剂对硅通孔镀铜填充过程的影响,在没有添加剂加入,或者单独加入加速剂或抑制剂都无法实现硅通孔镀铜完全填充,而通过加速剂和抑制剂的合理配比,可以实现硅通孔无缺陷完全填充,为工艺验证和设备研发提供理论支持。
- 魏红军陈苏伟王洪建
- 关键词：先进封装电镀
