您的位置： 专家智库 > >

沈军

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：复旦大学物理学系应用表面物理国家重点实验室更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 2篇热壁外延
  • 1篇薄膜生长
  • 1篇ZNSE
  • 1篇衬底
  • 1篇衬底温度

机构

  • 2篇复旦大学

作者

  • 2篇王迅
  • 2篇王杰
  • 2篇沈军
  • 1篇吕宏强
  • 1篇蔡群
  • 1篇王建宝
  • 1篇王昌平
  • 1篇陆春明
  • 1篇沈孝良
  • 1篇李晨
  • 1篇刘咏

传媒

  • 1篇Journa...
  • 1篇物理学报

年份

  • 2篇1992
共 2 条 记 录，以下是 1-2
全选 清除 导出
排序方式：
热壁外延ZnSe/GaAs薄膜生长机理的研究
1992年
本文用四极质谱(QMS)、X射线光电子谱(XPS)、俄歇电子能谱(AES)等手段,对单一源热壁外延(HWB)ZnSe/GaAs 薄膜的生长机理作了一些研究.这些研究主要包括 ZnSe源的蒸发情况以及在不同衬底温度条件下,外延薄膜的化学配比状态.
王杰李喆深蔡群陆春明沈军王迅
关键词：热壁外延
衬底温度对热壁外延ZnSe薄膜质量的影响
1992年
用热壁外延法在不同衬底温度条件下生长一系列ZnSe薄膜,并通过X射线衍射、喇曼散射以及光致发光技术对ZnSe薄膜质量作了研究。实验结果表明,随着衬底温度下降,ZnSe薄膜质量逐渐变差;当衬底温度低于300℃时,(100)ZnSe薄膜中有(111)孪晶出现;但同时发现衬底温度大于375℃时,衬底Ga原子对ZnSe外延层扩散严重。
吕宏强王杰沈军刘咏王迅王昌平王建宝李晨沈孝良
关键词：衬底温度
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0