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杨松涛

作品数：1 被引量：2H指数：1
供职机构：中国电子科技集团更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇紫外激光
  • 1篇激光

机构

  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 1篇刘红英
  • 1篇杨松涛

传媒

  • 1篇电子工业专用...

年份

  • 1篇2013
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
提高紫外激光划切质量的方法与措施被引量：2
2013年
随着紫外激光加工在半导体、微电子等领域的广泛应用,紫外激光加工质量已受到业界广泛关注。应用"六西格玛"质量分析方法对紫外加工质量缺陷产生原因进行分析,并为提高紫外激光划切质量提出一些方法与措施。
刘红英杨松涛
关键词：紫外激光
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共1页<1>
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