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郝国栋
作品数:
1
被引量:2
H指数:1
供职机构:
牡丹江师范学院
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相关领域:
化学工程
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合作作者
郭美玲
牡丹江师范学院
胡继忠
牡丹江师范学院
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2015
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金刚石膜的高温氧化性能的研究
被引量:2
2015年
在CH4/H2气氛下,利用直流热阴极PCVD(Plasma chemical vapor deposition)设备制备的金刚石膜并研究其高温氧化行为。对制备的样品通过拉曼光谱仪、X射线衍射仪对其进行表征,结果表明:金刚石膜在空气中氧化优先刻蚀非晶碳石墨处,使晶界瓦解;金刚石膜氧化前后未出现石墨或其它中间产物。
胡继忠
郝国栋
郭美玲
关键词:
CVD金刚石膜
高温氧化
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