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王倩
作品数:
41
被引量:10
H指数:2
供职机构:
中国科学院微电子研究所
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相关领域:
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合作作者
王宇
中国科学院微电子研究所
卫宝跃
中国科学院微电子研究所
张海英
中国科学院微电子研究所
刘昱
中国科学院微电子研究所
金春水
中国科学院长春光学精密机械与物...
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作者
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王倩
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王宇
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刘昱
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3篇
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一种聚焦系统及激光支持等离子体光源
本公开提供一种聚焦系统及激光支持等离子体光源,该聚焦系统包括:沿光路依次设置的准直镜、扩束镜和聚焦镜;所述准直镜将发散的激光光束转化为平行光束,并输入所述扩束镜中;所述扩束镜将平行光束的束腰直径进行倍数放大以匹配所需的F...
曹正鹏
亓岩
王倩
王延伟
颜博霞
周密
范元媛
检测装置、检测准分子激光器放电腔部件钝化程度的方法
本发明实施例提供一种检测装置、检测准分子激光器的放电腔部件钝化程度的方法,涉及光电技术领域,可判断放电腔部件内的钝化层是否钝化完成。一种检测装置,用于检测准分子激光器的放电腔部件的钝化程度,包括准分子激光器、测试腔、试样...
郭馨
江锐
王倩
周翊
赵江山
王宇
一种线宽压窄模块及准分子激光器
本发明公开一种线宽压窄模块及准分子激光器,所述线宽压窄模块包括:棱镜组,所述棱镜组用于对激光的光束进行调整;反射镜,所述反射镜设置于所述棱镜组一端,所述反射镜用于将调整后的光束进行反射;光栅,所述光栅设置于所述棱镜组及所...
王倩
赵江山
郭馨
崔慧绒
江锐
文献传递
一种大尺寸多周期极化晶体的制备装置
本公开提供一种大尺寸多周期极化晶体的制备装置,包括:位移台,用于放置目标晶体,目标晶体的上表面分为多个周期区域;极化模块,用于在目标晶体的不同周期的极化电极上施加高压电场进行极化,目标晶体的下表面通过分压电阻接地;监控模...
颜博霞
周密
亓岩
范元媛
韩哲
王延伟
王倩
温宁
离子敏感场效应管传感器及其电流模式读出电路
本发明实施例公开了一种离子敏感场效应管传感器及其电流模式读出电路。所述读出电路包括基于P型离子敏感场效应管的pH值感应电路、基于金属氧化物半导体场效应管的吉尔伯特增益电路、增益电流源和电流镜电路,P型离子敏感场效应管和金...
王倩
刘昱
卫宝跃
张海英
一种外腔激光器
本公开提供一种外腔激光器,包括:半导体光增益芯片和硅光波导芯片,所述硅光波导芯片包括:耦合器、第一热相移器、微环滤波器和反射镜;耦合器和微环滤波器的输入端连接,微环滤波器的输出端和反射镜的输入端连接;第一热相移器设置在耦...
王祎锴
颜博霞
周密
孙晨曦
亓岩
王延伟
韩哲
范元媛
王倩
一种激光相干长度可调的装置
本公开提供一种激光相干长度可调的装置,装置包括:激光器、色散部件和发散角控制部件;所述色散部件设置于所述激光器输出激光的光路上,激光光束在输出之前以第一角度入射到所述色散部件后发生色散,使得出射激光光束的各光谱成分按照顺...
范元媛
彭锦
王倩
亓岩
韩春蕊
颜博霞
周密
韩哲
王延伟
崔惠绒
一种零件涂层制备装置及零件涂层制备方法、终端装置
本发明公开一种零件涂层制备装置及零件涂层制备方法、终端装置,涉及准分子激光器放电腔用涂层制造技术领域,以解决零件被卤素工作气体腐蚀生成有害气体以及放电产生的声波、激波引起放电环境不稳定的问题,从而影响激光器的输出性能的问...
郭馨
江锐
王倩
崔惠绒
周翊
赵江山
王宇
文献传递
一种匀光参数的配置装置及方法、剥离系统及方法
本发明公开一种匀光参数的配置装置及方法、剥离系统及方法,涉及激光加工技术领域,以优化能量光束的均匀性,提高工件的剥离质量。匀光参数的配置装置包括,用于容纳匀光物质的透光容器,匀光物质具有丁达尔效应。用于检测从容纳匀光物质...
江锐
郭馨
王倩
周翊
赵江山
王宇
文献传递
战略性先导科技专项经费管理探讨
被引量:1
2022年
战略性先导科技专项(以下简称“先导专项”)是国家围绕创新驱动发展战略,提升自主创新能力、建设创新型国家的一项战略任务。文章主要分析先导专项经费管理现状,对现阶段先导专项经费管理现状进行详细剖析,并提出加强先导专项经费管理的策略,以期为承研任务单位规范经费使用、进一步提高资金使用效益提供一定的参考。
崔惠绒
江锐
王倩
苏国强
张蒙蒙
关键词:
经费管理
内控管理
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