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王小青

作品数：8 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院半导体研究所更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 8篇中文专利

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 7篇感器
  • 7篇传感
  • 7篇传感器
  • 6篇声传感器
  • 6篇超声传感器
  • 5篇电容
  • 5篇电容式
  • 3篇驻极体
  • 3篇空腔
  • 3篇衬底
  • 2篇电场
  • 2篇电极
  • 2篇电路集成
  • 2篇直流电场
  • 2篇驻极体材料
  • 2篇玻璃衬底
  • 2篇超声波
  • 2篇超声波辐射
  • 2篇触觉
  • 1篇压电式

机构

  • 8篇中国科学院

作者

  • 8篇俞育德
  • 8篇王小青
  • 7篇蒋莉娟
  • 7篇宁瑾
  • 7篇魏清泉
  • 7篇刘文文
  • 4篇徐团伟
  • 3篇刘元杰
  • 1篇孙英男
  • 1篇任鲁风
  • 1篇李钊
  • 1篇刘勇

年份

  • 2篇2018
  • 3篇2016
  • 3篇2015
共 8 条 记 录，以下是 1-8
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排序方式：
一种驻极体电容式超声传感器及其制作方法
本发明公开了一种驻极体电容式超声传感器，包括低阻衬底、驻极体材料层、绝缘层、支撑层、振动薄膜、上电极。其中，在支撑层中形成圆形或其他形状空腔二维阵列，成排、列对齐分布；在振动薄膜上沉积金属作为上电极，该上电极为图形阵列，...
王小青宁瑾徐团伟俞育德魏清泉刘文文蒋莉娟
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一种超声波触觉反馈系统及其制造方法
本发明公开了一种基于电容式超声传感器的超声波触觉反馈系统，包括电容式超声传感器阵列、控制电路、驱动电路、计算机等部分。计算机控制超声发射信号加载到电容式超声传感器阵列单元上，使传感器各个单元在空间中产生多种幅度和相位的超...
王小青宁瑾徐团伟俞育德魏清泉刘文文蒋莉娟
驻极体电容式超声传感器及其制备方法
一种驻极体电容式超声传感器及其制备方法，该驻极体电容式超声传感器，包括：一玻璃衬底，该玻璃衬底的中间为下凹的空腔；一金属下电极，其制作在玻璃衬底下凹的空腔的底部；一二氧化硅层，其制作在玻璃衬底上，且覆盖在空腔上，该二氧化...
王小青宁瑾俞育德魏清泉刘文文刘元杰蒋莉娟
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一种超声波触觉反馈系统及其制造方法
本发明公开了一种基于电容式超声传感器的超声波触觉反馈系统，包括电容式超声传感器阵列、控制电路、驱动电路、计算机等部分。计算机控制超声发射信号加载到电容式超声传感器阵列单元上，使传感器各个单元在空间中产生多种幅度和相位的超...
王小青宁瑾徐团伟俞育德魏清泉刘文文蒋莉娟
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一种数字化核酸扩增仪
一种数字化核酸扩增仪，包括机箱，其中，所述机箱的内部设有温度控制器和风机模块，所述风机模块包括热电冷却器；所述热电冷却器设于所述机箱的一侧，所述温度控制器紧邻所述热电冷却器设于所述机箱的另一侧，所述温度控制器与所述热电冷...
俞育德任鲁风魏清泉刘文文刘元杰刘勇李钊王小青蒋莉娟
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MEMS电容式超声波传感器及其制备方法
一种MEMS电容式超声波传感器及其制备方法，该MEMS电容式超声波传感器，包括：一玻璃衬底，该玻璃衬底的中间为下凹的空腔，在该空腔的两侧上分别开有凹槽；一下电极，其制作在玻璃衬底下凹的空腔底部；一顶层硅，其制作在玻璃衬底...
王小青宁瑾俞育德魏清泉刘文文刘元杰蒋莉娟
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一种电容式超声传感器及其制作方法
本发明公开了一种电容式超声传感器，包括：低阻硅衬底；在低阻硅衬底上形成的氧化硅层；于氧化硅层中形成的二维空腔阵列结构；在二维空腔阵列结构之上形成的振膜；以及在振膜上沉积金属铝形成的上电极，该上电极为图形阵列，并且上电极图...
王小青孙英男宁瑾俞育德
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一种驻极体电容式超声传感器及其制作方法
本发明公开了一种驻极体电容式超声传感器，包括低阻衬底、驻极体材料层、绝缘层、支撑层、振动薄膜、上电极。其中，在支撑层中形成圆形或其他形状空腔二维阵列，成排、列对齐分布；在振动薄膜上沉积金属作为上电极，该上电极为图形阵列，...
王小青宁瑾徐团伟俞育德魏清泉刘文文蒋莉娟
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