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周飞宇
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株洲南车时代电气股份有限公司
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合作作者
刘根
株洲南车时代电气股份有限公司
马亮
株洲南车时代电气股份有限公司
肖海波
株洲南车时代电气股份有限公司
孙小虎
株洲南车时代电气股份有限公司
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周飞宇
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基于IGBT的分步淀积半绝缘多晶硅方法及IGBT终端结构
本发明提供一种基于IGBT的分步淀积半绝缘多晶硅方法及IGBT终端结构,其中,方法包括:在第一导电类型衬底顶部淀积第一半绝缘多晶硅薄膜层,第一半绝缘多晶硅薄膜层在第一温度下进行淀积;在第一半绝缘多晶硅薄膜层上淀积第二半绝...
马亮
周飞宇
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基于IGBT的分步淀积半绝缘多晶硅方法及IGBT终端结构
本发明提供一种基于IGBT的分步淀积半绝缘多晶硅方法及IGBT终端结构,其中,方法包括:在第一导电类型衬底顶部淀积第一半绝缘多晶硅薄膜层,第一半绝缘多晶硅薄膜层在第一温度下进行淀积;在第一半绝缘多晶硅薄膜层上淀积第二半绝...
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一种高浓度N型浅结的制备方法
本发明涉及一种高浓度N型浅结的制备方法,包括:步骤S1,采用N型掺杂剂对半导体衬底进行第一次扩散掺杂,其工艺条件包括:掺杂温度为600-1200℃,掺杂时间为3-10分钟;步骤S2,用洗涤液对步骤S1得到的掺杂后的半导体...
孙小虎
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