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冯军

作品数：3 被引量：0H指数：0
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司更多>>
相关领域：机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇中文专利

领域

  • 1篇机械工程

主题

  • 2篇电偶
  • 2篇热电偶
  • 2篇逻辑处理器
  • 2篇半导体
  • 2篇闭环
  • 2篇闭环控制
  • 2篇处理器
  • 1篇电路
  • 1篇电路制造
  • 1篇定位孔
  • 1篇温度控制
  • 1篇温度控制器
  • 1篇温度数据
  • 1篇温区
  • 1篇污染
  • 1篇控制器
  • 1篇机械手
  • 1篇集成电路
  • 1篇集成电路制造
  • 1篇硅片

机构

  • 3篇北京七星华创...

作者

  • 3篇冯军
  • 3篇朱翠清
  • 2篇徐冬
  • 1篇郝琪

年份

  • 1篇2017
  • 2篇2015
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
一种用于半导体热处理设备的热电偶故障诊断方法及系统
一种半导体热处理设备的热电偶故障诊断与处理方法及系统，该半导体热处理设备中的每个控温区分别包括热电偶和加热单元；该系统包括滤波器、感温模块、逻辑处理器、温度控制器和电力控制单元，以形成闭环控制；热电偶采集热处理设备温度数...
徐冬朱翠清冯军
一种用于半导体热处理设备的热电偶故障诊断方法及系统
一种半导体热处理设备的热电偶故障诊断与处理方法及系统，该半导体热处理设备中的每个控温区分别包括热电偶和加热单元；该系统包括滤波器、感温模块、逻辑处理器、温度控制器和电力控制单元，以形成闭环控制；热电偶采集热处理设备温度数...
徐冬朱翠清冯军
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用于反应硅片存储和转移过程中的机械手调试装置
本实用新型涉及集成电路制造技术领域，尤其涉及一种用于反应硅片存储和转移过程中的机械手调试装置。该用于反应硅片存储和转移过程中的机械手调试装置包括传送机械手定位板、盒门定位板及两个侧支撑板，盒门定位板垂直设置在传送机械手定...
郝琪冯军朱翠清
文献传递
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