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杨茂华

作品数:1 被引量:1H指数:1
供职机构:哈尔滨工业大学更多>>
相关领域:理学更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇折射率
  • 1篇色散
  • 1篇色散测量
  • 1篇膜厚
  • 1篇光学
  • 1篇光学薄膜
  • 1篇非均匀

机构

  • 1篇哈尔滨工程大...
  • 1篇哈尔滨工业大...

作者

  • 1篇赵恒谦
  • 1篇李庆波
  • 1篇张伟
  • 1篇杨茂华

传媒

  • 1篇应用光学

年份

  • 1篇1991
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
沿膜厚方向的簿膜非均匀折射率及其色散测量被引量:1
1991年
以传统的光学监控法与石英晶体振荡法为基础,在薄膜沉积过程中,同时测量膜片的透过率及膜层的厚度,以及与它们对应的控制波长,并根据三者与折射率之间的关系,由计算机反解出不同膜厚处的折射率——非均匀折射率及不同厚度、不同波长处的薄膜折射率——非均匀色散。同时给出了硫化锌薄膜在水晶石薄膜的测量实例,并进行了分析与讨论。
张伟赵恒谦杨茂华李庆波
关键词:光学薄膜非均匀折射率色散
共1页<1>
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