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刘慧

作品数：7 被引量：0H指数：0
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 7篇中文专利

领域

  • 2篇自动化与计算...

主题

  • 5篇半导体
  • 3篇轴向
  • 3篇立式
  • 2篇顶柱
  • 2篇水平度
  • 2篇炉体
  • 2篇缓冲器
  • 2篇法兰
  • 2篇感器
  • 2篇传感
  • 2篇传感器
  • 1篇形变
  • 1篇应变传感
  • 1篇应变传感器
  • 1篇石英管
  • 1篇套筒
  • 1篇退火
  • 1篇热处理炉
  • 1篇连接结构
  • 1篇进气

机构

  • 7篇北京七星华创...

作者

  • 7篇刘慧
  • 4篇赵燕平
  • 3篇孙少东
  • 3篇徐冬
  • 2篇董金卫
  • 2篇郝永鹏
  • 1篇王艾

年份

  • 3篇2017
  • 3篇2014
  • 1篇2012
共 7 条 记 录，以下是 1-7
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排序方式：
半导体热处理设备工艺门状态检测装置及检测方法
本发明公开了一种半导体热处理设备工艺门状态的检测装置，包括上测距传感器和检测单元。所述上测距传感器至少为三个，设于所述工艺门侧面位于所述工艺门上表面下方的同一高度、沿工艺门圆周分布，用于当所述工艺门上升至与所述半导体热处...
徐冬刘慧
一种立式热处理设备的测温装置
本实用新型涉及一种立式热处理设备的测温装置，通过将控温热偶(3)、超温热偶(4)布置在绝缘子(2)两侧，或者同一侧不同水平高度，使得加热丝(1)与热偶距离保持相对稳定，从而提高测温装置的精度，避免热偶的破坏。可以广泛应用...
赵燕平刘慧孙少东王艾
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半导体热处理设备工艺门状态检测装置及检测方法
本发明公开了一种半导体热处理设备工艺门状态的检测装置，包括至少三个不在同一直线上的缓冲器和检测单元。其中，缓冲器固定于工艺门下端面和支撑盘之间，每一缓冲器包括：套筒，穿设并固定于支撑盘；顶柱，设于套筒中，其上端面与所述工...
徐冬刘慧
立式热处理设备炉体成型装置
本发明公开了一种立式热处理设备炉体成型装置，包括中轴、轴向分开设置在所述中轴上的两组支撑辐板组以及两端分别与所述两组支撑辐板组连接的若干炉丝支撑板，所述每组支撑辐板组包括沿所述中轴径向分别向四周延伸的若干支撑辐板，所述每...
董金卫赵燕平孙少东刘慧郝永鹏
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半导体热处理炉的管路连接结构
本实用新型涉及半导体热处理设备领域，提供了一种半导体热处理炉的管路连接结构，所述热处理炉的进气口与进气管路连接，其出气口与出气管路连接，所述热处理炉的进气口的外围设有第一法兰盘，所述进气管路的一端口外围设有第二法兰盘，所...
刘慧赵燕平
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立式热处理设备炉体成型装置
本发明公开了一种立式热处理设备炉体成型装置，包括中轴、轴向分开设置在所述中轴上的两组支撑辐板组以及两端分别与所述两组支撑辐板组连接的若干炉丝支撑板，所述每组支撑辐板组包括沿所述中轴径向分别向四周延伸的若干支撑辐板，所述每...
董金卫赵燕平孙少东刘慧郝永鹏
文献传递
半导体热处理设备工艺门状态检测装置及检测方法
本发明公开了一种半导体热处理设备工艺门状态的检测装置，包括至少三个不在同一直线上的缓冲器和检测单元。其中，缓冲器固定于工艺门下端面和支撑盘之间，每一缓冲器包括：套筒，穿设并固定于支撑盘，其顶部具有开口；顶柱，设于套筒中，...
徐冬刘慧
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