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徐俊成

作品数：26 被引量：0H指数：0
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司更多>>
相关领域：经济管理自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 26篇中文专利

领域

  • 2篇经济管理
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 9篇硅片
  • 8篇密封
  • 7篇半导体
  • 6篇支撑脚
  • 5篇导轨
  • 5篇机械手
  • 4篇晶圆
  • 3篇压力传感器
  • 3篇占地面积
  • 3篇实时控制
  • 3篇受力
  • 3篇数据处理
  • 3篇数据处理单元
  • 3篇气体压力
  • 3篇清洗工艺
  • 3篇中药
  • 3篇柱形
  • 3篇装载
  • 3篇自锁
  • 3篇污染

机构

  • 26篇北京七星华创...

作者

  • 26篇徐俊成
  • 16篇赵宏宇
  • 9篇李广义
  • 8篇裴立坤
  • 8篇高浩
  • 7篇孙文婷
  • 5篇李伟
  • 4篇王营营
  • 3篇朱攀
  • 3篇马嘉
  • 3篇张明
  • 2篇张豹

年份

  • 1篇2018
  • 1篇2017
  • 6篇2015
  • 4篇2014
  • 12篇2013
  • 2篇2012
共 26 条 记 录，以下是 1-10
全选 清除 导出
排序方式：
铜互连后清洗设备
1.本外观设计产品的名称：铜互连后清洗设备。;2.本外观设计产品的用途：用于铜工艺的互连阶段，多孔性low-k介质材料集成的清洗。;主要去除光刻胶残留、颗粒、通孔内的有机聚合物以及硅片边沿和背面的铜金属。;3.本外观设计...
赵宏宇裴立坤高浩李广义贾星杰徐俊成
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一种模块化硅片清洗系统
本实用新型提供一种模块化硅片清洗系统，其包括：传片区、工艺区和化学药液分配区，所述传片区包括第一机械手、硅片盒、第一主体骨架以及分别设于第一主体骨架上的第一机械手直线运动单元和硅片装载埠；所述工艺区包括第二机械手、第二主...
朱攀贾星杰赵宏宇裴立坤徐俊成
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一种腔室气流控制系统
本实用新型公开了半导体制造技术领域，特别涉及一种腔室气流控制系统。本实用新型包括PCC控制器和至少一个腔室控制单元；腔室控制单元包括压力传感器、风机过滤器、和所述风机过滤器连接的状态检测单元、与所述压力传感器、风机过滤器...
张明徐俊成马嘉
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提高气流均匀性的窗格装置
本实用新型涉及半导体制造领域，公开了一种提高半导体洁净室气流均匀性的窗格装置，包括：叠装一起的第一层过滤网和第二层过滤网，及用于固定所述第一层过滤网和第二层过滤网的边缘的框架；所述第一层过滤网的网孔和第二层过滤网的网孔呈...
罗恩·穆勒徐俊成
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可移动式密封装置
本实用新型提供一种可移动式密封装置，其包括驱动装置和滑动装置，所述滑动装置包括滑动密封板（1）和两条平行的导轨（4），所述滑动密封板（1）可滑动安装于所述两条导轨（4）上，所述驱动装置与所述滑动密封板（1）连接，其连接位...
徐俊成高浩赵宏宇李伟贾星杰
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一种模块化硅片清洗系统
本发明提供一种模块化硅片清洗系统，其包括：传片区、工艺区和化学药液分配区，所述传片区包括第一机械手、硅片盒、第一主体骨架以及分别设于第一主体骨架上的第一机械手直线运动单元和硅片装载埠；所述工艺区包括第二机械手、第二主体骨...
朱攀贾星杰赵宏宇裴立坤徐俊成
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用于晶圆工艺腔室的移动式密封装置
本实用新型公开了一种用于晶圆工艺腔室的移动式密封装置，通过在外滑动板内侧设置内滑动板，在内滑动板随着外滑动板上下移动的过程中，始终位于工艺腔室的晶圆取放口的内侧，使得晶圆工艺过程中药液只能飞溅到内滑动板上，并沿着内滑动板...
徐俊成王锐廷
一种移动式密封装置
本实用新型提供一种移动式密封装置，该密封装置包括：移动式密封板、驱动装置、导轨和导轨滑块；所述导轨与导轨滑块连接；所述移动式密封板一端与导轨滑块连接，另一端与驱动装置连接。本实用新型提供的移动式密封装置安装在工艺腔室开口...
徐俊成高浩李伟贾星杰孙文婷
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一种用于盘状物的支撑装置
本实用新型公开了一种用于盘状物的支撑装置，用于支撑圆盘状的晶圆，装置的支撑脚采用L形外形，其L形竖直部分的上端设有各由至少一个面构成的晶圆支撑面及其外侧背靠的外倾斜面，外倾斜面的上端具有水平端面，支撑脚的L形水平部分与支...
李广义赵宏宇张豹徐俊成孙文婷
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支撑脚装置
本发明公开了一种支撑脚装置，包括：支撑脚本体、支撑脚螺母和支撑环，所述支撑脚本体位于支撑环上表面，所述支撑脚螺母穿过支撑环下表面与所述支撑脚本体通过紧固件紧固，所述支撑脚本体和支撑脚螺母夹紧所述支撑环。本发明的支撑脚装置...
李广义赵宏宇裴立坤徐俊成王营营
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