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张敏亮

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文专利

主题

  • 1篇气缸
  • 1篇洁净度
  • 1篇控制机
  • 1篇控制机构
  • 1篇半导体

机构

  • 1篇北京七星华创...

作者

  • 1篇张敏亮
  • 1篇林欣家
  • 1篇郝琪

年份

  • 1篇2014
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
一种炉门控制机构
本实用新型涉及半导体立式热处理设备技术领域，尤其涉及一种炉门控制机构。该炉门控制机构的升降气缸通过导向轴与炉门连接，旋转气缸通过摆杆机构与炉门连接，限位机构用于限制炉门的升降和旋转的位置。本实用新型的炉门控制机构通过升降...
张敏亮林欣家郝琪
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