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叶圣麟
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上海市激光技术研究所
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黄鑫
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唐武
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叶圣麟
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2008
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超薄玻璃基板激光切割机
本实用新型公开了一种超薄玻璃基板激光切割机,包括:机体、激光器,特点是,它还包括光束整形和伺服调焦系统、龙门式两维气浮高速平台、玻璃预切装置、冷却气体喷嘴、气瓶、90°气浮转台、负压吸附平台;激光器与光束整形和伺服调焦系...
黄鑫
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叶圣麟
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