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一种熔体传热式壁材料表面热疲劳试验系统及方法: 一种熔体传热式壁材料表面热疲劳试验系统及方法属于核能应用研究领域。系统包含高温和低温两个温度的熔融液体，分别盛装在两个温度可控的坩埚内；系统还要包含装卡样品的卡具和一个可使样品变换位置的机构，能够让样品分别与高温和低温熔...; 王波胡德志张昀吕广宏; 文献传递

射频感应耦合等离子体的朗缪双探针和发射光谱诊断分析: 电子密度和电子温度是等离子体的两个重要的基本参量,对其的诊断是了解和控制反应等离子体的一个关键;通过采用朗缪双探针法对圆柱形射频感应耦合等离子体(Inductively coupled plasma,ICP)放电装置在不...; 王荷军王波王权张昀严辉; 关键词：电子密度电子温度汞发射光谱

射频感应耦合等离子体朗缪双探针诊断分析被引量：4: 2016年; 采用朗缪探针法对射频感应耦合等离子体进行了诊断分析,得到了圆柱形ICP放电装置的电子密度和电子温度。通过朗缪双探针研究了不同放电气压、不同射频功率、不同放电位置、不同气体组分对等离子体参数的影响。一定功率下,电子密度在30Pa-100Pa之间随气压的增加而增大,在100Pa-160Pa之间随气压的增加而减小,电子温度在30Pa-160Pa之间随气压的增加而减小;一定气压下,电子密度在50W-1900W之间随功率的增加逐渐增大,电子温度在50W-900W之间随功率的增加而减小,在900W-1900W之间随功率的增加而增大。等离子体辉光区域不同位置的电子密度和电子温度各不相同,电子密度大的位置具有较低的电子温度。氩氮混合气体的电子密度随着气压的增加而减小,氮气在混合气体中的比例越高混合气体的电子密度越小;氩氮混合气体相比纯氩有着更高的电子温度,且氮气含量越高混合气体的电子温度也越高。; 张昀王波王荷军; 关键词：电子密度电子温度

放电参量对射频容性耦合等离子体电子密度的影响被引量：2: 2017年; 为了提高射频容性耦合等离子体电子密度,研究放电参量对其的影响。通过采用朗缪双探针法诊断分析了放电气压、气体组分、射频功率以及掺Hg等放电参量对圆柱形射频容性耦合等离子体放电装置的电子密度的影响。结果表明:随放电气压的增加,电子密度呈现出先增大后减小的变化,在30Pa-550Pa下,电子密度随气压的增大而增加,在550Pa-650Pa下,电子密度随气压的增大而减小;往Ar中通入一定体积分数的He,有增加等离子体电子密度的影响,且当He的体积分数为15%时,电子密度最大;等离子体电子密度随射频功率的增大而增加;向Ar中掺少量的Hg,有明显增加等离子体电子密度的效果。; 王荷军王波刘云辉王权张昀; 关键词：电子密度汞

利用发射光谱研究ECR等离子体对钨的刻蚀: 2015年; 研究不同刻蚀条件下等离子体对钨表面的刻蚀变化,并对其原因进行分析有助于进一步了解其对钨的刻蚀机理,从而为如何提高钨材料的使用寿命提供一定的理论支撑.采用光纤光谱仪（Avaspec—ULS2048一USB2）检测在不同放电条件下电子回旋共振（electron cyclotron resonance,ECR）等离子体中受激发的钨原子、钨离子谱线的相对强度,从而根据其谱线的相对强度可以直接地反映出不同刻蚀条件下的等离子体对钨表面刻蚀的强弱规律.结果表明:偏压越大对钨表面的刻蚀越严重,气压则呈现先增大后减小的趋势;在N2-Ar混合气体中随着N,体积分数的增加对钨的刻蚀逐渐增强;而对比He、N,和Ar三种气体,He等离子体对钨的刻蚀最为严重;在700 W、0.1 Pa条件下,0175 V偏压范围的He等离子体对轧制态钨的刻蚀比再结晶态钨严重,而在175 V之后结果却相反.; 王波王荷军张昀王如志张铭; 关键词：电子回旋共振钨发射光谱等离子体

一种大规模制备低表面应力的表面具备微纳结构的钨的方法: 一种大规模制备低表面应力的表面具备微纳结构的钨的方法，属于微纳加工技术领域。在经电解抛光的金属钨的表面通过纳米压印的方法制备微纳结构刻蚀掩膜，使得需要刻饰的部分裸露，其他部分则被掩膜；将处理后的金属钨用ICP刻蚀的方法对...; 王波张子龙严辉张昀张铭王如志宋雪梅侯育冬朱满康刘晶冰汪浩; 文献传递

一种大规模制备低表面应力的表面具备微纳结构的钨的方法: 一种大规模制备低表面应力的表面具备微纳结构的钨的方法，属于微纳加工技术领域。在经电解抛光的金属钨的表面通过纳米压印的方法制备微纳结构刻蚀掩膜，使得需要刻饰的部分裸露，其他部分则被掩膜；将处理后的金属钨用ICP刻蚀的方法对...; 王波张子龙严辉张昀张铭王如志宋雪梅侯育冬朱满康刘晶冰汪浩; 文献传递

高频放电等离子体研究: 常见的高频等离子体放电类型有CCP、ICP、MW-ECR等，而ICP射频感应耦合等离子体是一种低气压、高密度的等离子体，且ICP源具有装置结构简单、无需内电极、无离子溅射、耦合效率高、磁场电场可透过绝缘壳加载的优点。近些...; 张昀; 关键词：电子密度电子温度谱线强度光谱法

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张昀