您的位置： 专家智库 > >

荣刚

作品数：3 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇会议论文
  • 1篇专利

主题

  • 2篇应力
  • 2篇应力和
  • 2篇薄膜应力
  • 1篇探针
  • 1篇碲镉汞
  • 1篇碲镉汞薄膜
  • 1篇微电子
  • 1篇微电子机械
  • 1篇微电子机械系...
  • 1篇微机械
  • 1篇微机械系统
  • 1篇显微镜
  • 1篇力学特性
  • 1篇力学性质
  • 1篇精密天平
  • 1篇计算机
  • 1篇计算机辅助测...
  • 1篇焦距
  • 1篇汞
  • 1篇硅

机构

  • 3篇中国科学院上...

作者

  • 3篇朱文玉
  • 3篇荣刚
  • 1篇陆德仁

传媒

  • 2篇第四届全国固...

年份

  • 3篇1994
共 3 条 记 录，以下是 1-3
全选 清除 导出
排序方式：
碲镉汞薄膜应力和晶片表面形变的计算机辅助测量装置
朱文玉荣刚
关键词：碲计算机辅助测试汞薄膜应力
微机械系统材料的应变测量装置
本实用新型微机械系统材料的应变测量装置，特别是用于几微米到几百微米尺寸材料的应变测量，属于用于计量固体形变的以机械方法为特征的计量设备，包括探针及长焦距显微镜。其特征在于有可在空间四个方位微调的探针台及测量微力大小及位移...
陆德仁朱文玉荣刚
文献传递
硅微电子机械系统中薄膜应力和力学特性的研究
荣刚朱文玉
关键词：硅薄膜应力力学性质
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0