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丁军

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文专利

主题

  • 2篇微米
  • 2篇线宽
  • 2篇绝对测量
  • 2篇光电混合
  • 2篇分辨率
  • 2篇测量方法

机构

  • 2篇中国科学院上...

作者

  • 2篇陈秋水
  • 2篇黄柳红
  • 2篇王桂英
  • 2篇丁军

年份

  • 1篇1998
  • 1篇1994
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
亚微米分辨率的光电混合测量装置及其测量方法
本发明是一种亚微米分辨率的光电混合测量装置及其测量方法，它可以测量标准线宽，也可以测量微光斑尺度。它由计算机、显示器、A/D转换和存储部分、光电探头和含有象传递系统、软边光栏、被测物支架、鉴别率板和照明系统的光学部分所构...
王桂英丁军陈秋水黄柳红
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亚微米分辨率的光电混合测量装置及其测量方法
本发明是一种亚微米分辨率的光电混合测量装置及其测量方法，它可以测量标准线宽，也可以测量微光斑尺度。它由计算机、显示器、A/D转换和存储部分、光电探头和含有象传递系统、软边光栏、被测物支架、鉴别率板和照明系统的光学部分所构...
王桂英丁军陈秋水黄柳红
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