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张士斌

作品数：3 被引量：0H指数：0
供职机构：北京大学更多>>
相关领域：一般工业技术化学工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇化学工程
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 2篇圆片
  • 2篇中间层
  • 2篇装配方法
  • 2篇金属零件
  • 2篇刻蚀
  • 2篇键合
  • 1篇石墨
  • 1篇石墨烯
  • 1篇图形化
  • 1篇退火
  • 1篇微纳米加工
  • 1篇离子束
  • 1篇纳米
  • 1篇聚焦离子束
  • 1篇高温退火

机构

  • 3篇北京大学

作者

  • 3篇张士斌
  • 2篇李男男
  • 2篇孙悦

年份

  • 1篇2015
  • 1篇2014
  • 1篇2013
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
一种基于深刻蚀技术的微小金属零件制备及装配方法
本发明公开了一种基于深刻蚀技术的微小金属零件制备及装配方法。本方法为：1)在第一基片上制备若干固定零件部件；2)在一复合基片的零件层上刻蚀制备用于与所述固定零件部件装配的若干零件部件；其中，所述复合基片包括支撑层、零件层...
陈兢李男男张士斌孙悦何舒玮
文献传递
大面积图形化石墨烯向三维结构转移技术基础研究
石墨烯(graphene)是一种由碳原子紧密堆积构成的单层片状结构材料，它是由碳原子以sp2杂化轨道组成六角型呈蜂巢晶格的平面薄膜。石墨烯因为具有优异的导电性、光学特性、导热性、机械性能和生物兼容性等特点引起了广泛的关注...
张士斌
关键词：石墨烯聚焦离子束微纳米加工高温退火
一种基于深刻蚀技术的微小金属零件制备及装配方法
本发明公开了一种基于深刻蚀技术的微小金属零件制备及装配方法。本方法为：1)在第一基片上制备若干固定零件部件；2)在一复合基片的零件层上刻蚀制备用于与所述固定零件部件装配的若干零件部件；其中，所述复合基片包括支撑层、零件层...
陈兢李男男张士斌孙悦何舒玮
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