耿峰 作品数:12 被引量:26 H指数:2 供职机构: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 更多>> 发文基金: 国家自然科学基金 国家重点实验室开放基金 更多>> 相关领域: 理学 机械工程 一般工业技术 自动化与计算机技术 更多>>
快速三维探测光学元件亚表面缺陷的检测装置及检测方法 本发明公开了一种快速三维探测光学元件亚表面缺陷的检测装置及检测方法,装置包括水平的样品台和计算机,所述样品台连接高精度三维电动移动平台和压电陶瓷z向平移台,并能分别由二者驱动其运动,所述样品台内设有光学元件的样品;样品台... 刘红婕 王凤蕊 耿峰 叶鑫 黄进 孙来喜 黎维华 罗青 李青芝荧光成像技术无损探测光学元件亚表面缺陷 被引量:17 2020年 为了建立有效无损的亚表面缺陷探测技术,本文开展了光学元件亚表面缺陷的荧光成像技术研究,通过系统优化激发波长、成像光谱、成像光路及探测器等影响探测精度和探测灵敏度的参数,研制出小口径荧光缺陷检测样机。基于该样机对一系列精抛光熔石英和飞切KDP晶体元件的散射缺陷和荧光缺陷进行了表征,获得了各类样品亚表面缺陷所占的比重差异很大,从0.012%到1.1%不等。利用统计学方法分析了亚表面缺陷与损伤阈值的关系,结果显示,熔石英亚表面缺陷与损伤阈值相关曲线的R^2值为0.907,KDP晶体亚表面缺陷与损伤阈值相关曲线的R^2值为0.947,均属于强相关。该研究结果可评价光学元件的加工质量,用于指导紫外光学元件加工工艺,并且由于该探测技术具有无损、快速的特点,因此可应用于大口径紫外光学元件全口径亚表面缺陷探测,具有极其重要的工程意义。 刘红婕 王凤蕊 耿峰 周晓燕 黄进 叶鑫 蒋晓东 吴卫东 杨李茗关键词:激光损伤 熔石英 KDP晶体 一种无损评价光学元件损伤性能的方法 本发明公开了一种无损评价光学元件损伤性能的方法,连续激光器能发出连续激光,经第一能量调节器、第一透镜、反射镜、样品正面后,照射到样品背面,连续激光经样品反射的反射方向上设有残余激光收集器;脉冲激光器能发出脉冲激光,经第二... 刘红婕 蒋晓东 王凤蕊 黄进 耿峰 叶鑫 孙来喜 黎维华 罗青文献传递 熔石英元件紫外脉冲激光辐照损伤特性研究进展综述 被引量:7 2022年 熔石英光学元件在高能量密度的紫外脉冲激光辐照下往往极易出现后表面损伤,这严重影响了紫外高功率脉冲激光装置的可靠性。综合国内外相关研究进展,系统阐述了熔石英元件表面在高能量紫外脉冲激光辐照下的损伤特性,包括典型的初始损伤和损伤增长行为特征,介绍了熔石英元件表面缺陷的类型、分布特性和紫外脉冲激光诱导损伤的内在机制,并概述了常用的熔石英表面加工方法与缺陷控制技术。最后,介绍了熔石英表面缺陷无损检测新技术和抗损伤性能测试技术方面的研究进展。 杨李茗 黄进 刘红婕 王凤蕊 耿峰 孙来喜 韩伟 丁磊 廖威 蒋晓东关键词:激光光学 一种无损评价光学元件损伤性能的方法 本发明公开了一种无损评价光学元件损伤性能的方法,连续激光器能发出连续激光,经第一能量调节器、第一透镜、反射镜、样品正面后,照射到样品背面,连续激光经样品反射的反射方向上设有残余激光收集器;脉冲激光器能发出脉冲激光,经第二... 刘红婕 蒋晓东 王凤蕊 黄进 耿峰 叶鑫 孙来喜 黎维华 罗青熔石英亚表层微缺陷探测装置 本实用新型提供了一种熔石英亚表层微缺陷探测装置,涉及光学器件领域。该熔石英亚表层微缺陷探测装置用于对放置于样品台上的样品进行损伤探测,包括激光器、成像系统、电子倍增电荷耦合元件和显示器,电子倍增电荷耦合元件和成像系统设置... 刘红婕 蒋晓东 黄进 王凤蕊 孙来喜 耿峰 叶鑫 李青芝文献传递 快速三维探测光学元件亚表面缺陷的检测装置 本实用新型公开了一种快速三维探测光学元件亚表面缺陷的检测装置,装置包括水平的样品台和计算机,所述样品台连接高精度三维电动移动平台和压电陶瓷z向平移台,并能分别由二者驱动其运动,所述样品台内设有光学元件的样品;样品台下方设... 刘红婕 王凤蕊 耿峰 叶鑫 黄进 孙来喜 黎维华 罗青 李青芝文献传递 一种成像装置及超短脉冲序列生成方法 本发明公开了一种成像装置及超短脉冲序列生成方法,包括:所述光子晶体光纤接收所述激光器发出的超短激光脉冲,将输入的超短激光脉冲的频谱展宽;所述脉冲压缩器将所述超连续谱发生器输出的经频谱展宽后的超短激光脉冲脉宽压缩;所述脉冲... 邓青华 蒋小东 黎维华 吴卫东 王雪敏 湛志强 耿峰 闫大伟 彭丽萍 赵研 沈昌乐 蒋涛 王新明文献传递 快速三维探测光学元件亚表面缺陷的检测装置及检测方法 本发明公开了一种快速三维探测光学元件亚表面缺陷的检测装置及检测方法,装置包括水平的样品台和计算机,所述样品台连接高精度三维电动移动平台和压电陶瓷z向平移台,并能分别由二者驱动其运动,所述样品台内设有光学元件的样品;样品台... 刘红婕 王凤蕊 耿峰 叶鑫 黄进 孙来喜 黎维华 罗青 李青芝文献传递 真空紫外激光辐照对熔石英表面氧空位的影响 被引量:2 2014年 在真空环境下利用紫外脉冲激光对熔石英元件表面进行了低于损伤阈值的辐照,通过X射线光电子能谱对激光诱导的表面氧空位进行了精细表征。研究结果表明:在10-3Pa的高真空环境下熔石英表面易受紫外激光激励形成低结合能的O1s(531 e V),这种非稳定结构在后续紫外脉冲激光辐照下会出现Si-O键断裂从而产生氧空位,氧空位产生的程度取决于激光脉冲能量、发次以及真空度,且对熔石英元件的抗损伤性能有显著的负面影响。 黄进 周信达 周晓燕 耿峰 刘红婕 王凤蕊 孙来喜 叶鑫 吴卫东关键词:X射线光电子能谱 熔石英 损伤阈值 氧空位