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姜波

作品数:36 被引量:0H指数:0
供职机构:南京理工大学更多>>
相关领域:自动化与计算机技术电子电信交通运输工程一般工业技术更多>>

文献类型

  • 33篇专利
  • 2篇学位论文
  • 1篇期刊文章

领域

  • 8篇自动化与计算...
  • 3篇电子电信
  • 1篇经济管理
  • 1篇化学工程
  • 1篇建筑科学
  • 1篇交通运输工程
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 12篇陀螺
  • 10篇电极
  • 9篇陀螺仪
  • 7篇非制冷
  • 6篇电路
  • 5篇调制
  • 5篇焦平面
  • 5篇红外
  • 5篇非制冷红外
  • 5篇MEMS陀螺
  • 4篇制冷
  • 4篇热电制冷
  • 4篇晶圆
  • 4篇感器
  • 4篇MEMS陀螺...
  • 4篇传感
  • 4篇传感器
  • 3篇多量子阱
  • 3篇悬臂
  • 3篇悬臂梁

机构

  • 36篇南京理工大学
  • 1篇西安建筑科技...
  • 1篇西安飞行自动...
  • 1篇北京海鹰科技...

作者

  • 36篇姜波
  • 32篇苏岩
  • 23篇周同
  • 11篇张晶
  • 9篇何勇
  • 6篇方中
  • 5篇白宏阳
  • 2篇王开鹰
  • 2篇赵健
  • 2篇董涛
  • 2篇杨朝初
  • 2篇朱欣华
  • 1篇岳亚洲
  • 1篇朱建良
  • 1篇汪晶晶
  • 1篇何伟
  • 1篇宋丽君

传媒

  • 1篇导航与控制

年份

  • 4篇2025
  • 15篇2024
  • 3篇2023
  • 1篇2021
  • 1篇2020
  • 4篇2019
  • 3篇2018
  • 2篇2017
  • 2篇2016
  • 1篇2014
36 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
一种外置电极的大电容、高Q值MEMS环形陀螺仪
本发明提供了一种外置电极的高Q值MEMS环形陀螺仪结构,包括环形件、设于环形件外侧并通过周向解耦梁连接的质量块,以及置于质量块内部的梳齿电极和位于环形件内侧的平板电极。该MEMS陀螺仪通过径向连接梁和连接到最外侧的锚点上...
姜波汤浩江苏岩
基于MEMS工艺的二维磁驱动扫描微镜及其制备方法
本发明公开了一种基于MEMS工艺的二维磁驱动扫描微镜及其制备方法,制备方法首先在硅基底上制备第一压阻传感器和第二压阻传感器;在硅基底上刻蚀出线圈槽、线圈引线槽;制备线圈、线圈引线;形成氧化绝缘层,为线圈导线、金属连接线互...
姜波彭明迪苏岩朱欣华
文献传递
一种用于差分型谐振式传感器耦合刚度的估算方法
本发明公开了一种用于差分型谐振式传感器耦合刚度的估算方法,该方法采用了一套测试系统,包括差分型谐振式传感器、前端接口电路、信号发生与检测器、电源和计算机。所述方法通过预估谐振器的扫频范围,并对每个谐振器进行多次单端驱动或...
张晶杨茁吴天豪姜波周同王振军苏岩
一种微机电陀螺的数字闭环检测系统
本发明公开了一种微机电陀螺的数字闭环检测系统,用以实现大量程、高分辨率角速率检测;通过分配算法模块形成了多路反馈信号,多路反馈信号分别经过不同的PI控制器和不同范围、分辨率的数模转换器,形成大交流模拟信号和小交流模拟信号...
黄深湖周怡柯朝容姜波苏岩
一种弹性支撑的多环MEMS陀螺仪
本发明属于陀螺仪技术领域,具体涉及一种弹性支撑的多环MEMS陀螺仪。包括辐条、环形件、柔性折叠梁、设于环形件外侧并通过周向柔性折叠梁连接的锚点,位于环形件内侧用于驱动该MEMS陀螺仪结构沿广义空间上相互成45°夹角的驱动...
姜波闫振磊苏岩
一种大电容八质量MEMS陀螺仪
本发明公开了一种大电容八质量MEMS陀螺仪,包括固定锚点、外部固定锚点外部固定锚点、敏感质量块、敏感质量耦合梁、外部解耦质量、内部解耦质量;八个外部固定锚点、八个外部解耦质量、八个敏感质量块、八个内部解耦质量分别围成等边...
黄深湖姜波周怡苏岩
应用于非制冷红外焦平面的承载晶圆快速减薄方法
本发明公开了一种应用于非制冷红外焦平面的承载晶圆快速减薄方法,步骤如下:将晶圆粘附于托盘上;将托盘吸附在晶圆减薄机载片台上,将载片台固定在减薄机主轴,将磨刀固定在磨刀轴,将晶圆上的硅衬底层减薄至预定厚度;将托盘倒置于晶圆...
何勇方中陈哲权苏岩姜波周同
文献传递
一种微半球谐振陀螺的环型二极管检测系统
本发明公开了一种微半球谐振陀螺的环形二极管检测系统,包括:C‑V转换电路模块,用于陀螺谐振子的检测振动信号放大;ADC模块,用于将放大后的模拟电信号转换为数字信号;数字锁相环电路,用于跟踪输出信号的相位和频率,产生两路相...
周同 翟宜辰苏岩 周怡姜波 王振军张晶白宏阳
非制冷红外探测阵列用自掺杂硅锗/硅多量子阱热敏材料
本发明公开了一种非制冷红外探测阵列用自掺杂硅锗/硅多量子阱结构并具有较高温度电阻系数的热敏材料。材料包括底部接触层、底部隔离层、硅锗/硅多量子阱结构、顶部隔离层和顶部接触层。当隔离层厚度为35~100?nm,硼粒子由接触...
董涛王开鹰姜波何勇杨朝初苏岩
文献传递
一种面内热电制冷MEMS流量传感器及其制造方法
本发明公开一种面内热电制冷MEMS流量传感器及其制造方法,结构主要包括:包括基板、薄膜、测温元件、面内热电制冷元件和芯片引脚;薄膜关于基板中心对称;测温元件左右对称地分布在薄膜内;面内热电制冷元件上下对称地跨置于薄膜与基...
王振军岳彦君姜波周同苏岩
共4页<1234>
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