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谷志刚
作品数:
4
被引量:1
H指数:1
供职机构:
南京航空航天大学
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发文基金:
江苏省自然科学基金
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相关领域:
电子电信
一般工业技术
电气工程
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合作作者
王东生
南京航空航天大学理学院
张万权
南京航空航天大学理学院
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溅射
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薄膜微结构
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MOSFET
1篇
磁控
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磁控溅射
机构
4篇
南京航空航天...
作者
4篇
谷志刚
3篇
王东生
2篇
张万权
传媒
1篇
功能材料
年份
1篇
2008
2篇
2007
1篇
2006
共
4
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退火处理对LaAlO/_3薄膜微结构及性能的影响
随着科学的进步和微电子技术的飞速发展,硅基集成电路的集成度越来越高。而集成度的提高是以其核心器件金属-氧化物-半导体场效应管/(MOSFET/)特征尺寸的逐渐减小为基础的。但是受量子隧穿效应的影响,MOSFET栅极SiO...
谷志刚
关键词:
高介电常数
磁控溅射
文献传递
无机薄膜电致发光器件中绝缘层材料的研究
2007年
薄膜电致发光(TFEL)技术将戍为平板显示技术的潮流和主体。简要介绍了平板显示技术的发展,同时对无机薄膜电致发光器件中绝缘层材料的选择进行了探讨。
王东生
谷志刚
张万权
关键词:
电致发光
新一代MOSFET栅极电介质材料的研究进展
随着半导体技术的飞速发展,传统的SiO2 无法克服由MOSFET、器件特征尺寸的不断缩小所带来的量子隧穿效应的影响,从而极大地制约了微电子器件集成度的提高。因此寻找新一代MOSFET栅极电介质材料来取代SiO2已经成为人...
谷志刚
王东生
关键词:
高介电常数
文献传递
无机薄膜电致发光器件中绝缘层材料的研究
薄膜电致发光(TFEL)技术将成为平板显示技术的潮流和主体。简要介绍了平板显示技术的发展, 同时对无机薄膜电致发光器件中绝缘层材料的选择进行了探讨。
王东生
谷志刚
张万权
关键词:
电致发光
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