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张广泽

作品数:26 被引量:15H指数:2
供职机构:中国科学院半导体研究所更多>>
发文基金:国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域:电子电信理学石油与天然气工程更多>>

文献类型

  • 14篇期刊文章
  • 6篇会议论文
  • 6篇专利

领域

  • 17篇电子电信
  • 2篇理学
  • 1篇石油与天然气...

主题

  • 6篇分子束
  • 6篇分子束外延
  • 5篇合金
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  • 4篇激光
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机构

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  • 1篇辽宁石油化工...

作者

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传媒

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年份

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  • 2篇2004
  • 2篇2002
  • 1篇2001
  • 1篇1997
  • 3篇1996
  • 1篇1995
26 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
硅基电泵浦激光器及其制备方法
本公开实施例提供了一种硅基电泵浦激光器及其制备方法,硅基电泵浦激光器包括:SOI衬底,SOI衬底包括从上至下排布的硅顶层、二氧化硅填埋层和硅底层,硅顶层设有凹槽,凹槽的槽深贯穿硅顶层,硅顶层在凹槽两侧设有N型掺杂区和P型...
刘智黄秦兴郑军成步文左玉华门涛张广泽
分子束外延生长GaAs中δ掺杂研究被引量:1
1996年
利用二次离子质谱(SIMS)和电化学剖面C-V方法研究了生长温度对GaAs中理想Siδ掺杂结构的偏离和掺杂原子电激活效率的影响。实验发现,外延生长Siδ掺杂GaAs时,随着生长温度的升高,Si掺杂分布SIMS峰非对称展宽,表面分凝作用加强,但不影响Si原子的扩散。另外,Si施主电激活效率随着生长温度的提高而增大。
钟战天吴冰清曹作萍朱文珍张广泽张广泽陈新王佑祥陈新邢益荣
关键词:分子束外延Δ掺杂砷化镓
锗锡半导体合金材料的外延生长和器件应用
GeSn 是一种新型硅基异质结构材料,其晶格常数和带隙在大范围内连续可调,并有可能实现直接带隙,在硅基高效发光和探测、硅基红外器件、高效全光谱太阳能电池研制、硅基高迁移率器件等方面具有重要应用前景,成为近年硅基光电子和微...
成步文苏少坚张东亮张广泽薛春来罗丽萍郑军左玉华王启明
Si(001)衬底上分子束外延生长Ge_(0.975)Sn_(0.025)合金薄膜被引量:5
2011年
使用低、高温两步法生长的高质量Ge薄膜作为缓冲层,在Si(001)衬底上采用分子束外延法生长出Ge0.975Sn0.025合金薄膜.X射线双晶衍射和卢瑟福背散射谱等测试结果表明,Ge0.975Sn0.025合金薄膜具有很好的晶体质量,并且没有发生Sn表面分凝.另外,Ge0.975Sn0.025合金薄膜在500℃下具有很好的热稳定性,有望在Si基光电器件中得到应用.
苏少坚汪巍张广泽胡炜玄白安琪薛春来左玉华成步文王启明
关键词:分子束外延
Metalorganic Chemical Vapor Deposition of GaNAs Alloy Using Dimethylhydrazine as Nitrogen Precursor
2002年
GaNAs alloy is grown by metalorganic chemical vapor deposition (MOCVD) using dimethylhydrazine (DMHy) as the nitrogen precursor.High resolution X ray diffraction (HRXRD) and secondary ion mass spectro metry (SIMS) are combined in determining the nitrogen contents in the samples.Room temperature photoluminescence (RTPL) measurement is also used in characterizing.The influence of different Ga precursors on GaNAs quality is investigated.Samples grown with triethylgallium (TEGa) have better qualities and less impurity contamination than those with trimethylgallium (TMGa).Nitrogen content of 5 688% is achieved with TEGa.The peak wavelength in RTPL measurement is measured to be 1278 5nm.
韦欣马骁宇王国宏张广泽朱晓鹏陈良惠
关键词:MOCVDIMPURITYHRXRDSIMS
一种适合于大批量生产的激光器COD消除方法
本发明属于半导体光电器件(尤其激光器)制作技术领域,特别是一种适合于大批量生产的激光器COD消除方法,涉及到一种光非吸收窗口的制作工艺技术,该工艺源于锌杂质扩散诱导量子阱加速混杂原理。根据量子阱混杂原理,利用锌原子在II...
郑凯马骁宇林涛刘素平张广泽
文献传递
Measurement of Refractive Indices of (Al_xGa_(1-x))_(0.51)In_(0.49)P Grown by Low Pressure Organometallic Vapor Phase Epitaxy
2001年
The refractive indices of disordered (Al xGa 1-x ) 0 51 In 0 49 P,which is grown by low-pressure organometallic vapor phase epitaxy and lattice-matched to GaAs substrate,have been determined by measuring their reflectance spectra when the wavelength ranges between 0 5 to 2 5 micrometer.A single-oscillator dispersion model is used to verify the experiment data and calculate the reflectance spectrum.The refractive indices are used to analyze the waveguide of strain quantum well GaInP/AlGaInP visible laser diode.The simulated far field pattern is consistent with the experimental results very well.
廉鹏马骁宇张广泽陈良惠
关键词:MEASUREMENTGAINP/ALGAINP
立式钢油罐低循环疲劳探讨
1996年
本文应用有关理论对立式钢油罐低循环疲劳问题进行了探讨,结果说明大型油罐疲劳寿命属于低循环疲劳,因此在设计和应用时对其低循环疲劳应当予以足够的重视。
张文良张广泽
关键词:立式低循环疲劳油罐
GeSn合金的晶格常数对Vegard定律的偏离被引量:2
2012年
在Si(001)衬底上,以高质量的弛豫Ge薄膜作为缓冲层,先后生长Sn组分x分别为2.5%,5.2%和7.8%的完全应变的三层Ge_(1-x)Sn_x合金薄膜.在Si(001)衬底上直接生长了x分别为0.005,0.016,0.044,0.070和0.155的五个弛豫Ge_(1-x)Sn_x样品.通过卢瑟福背散射谱、高分辨X射线衍射和X射线倒易空间图等方法测量了Ge_(1-x)Sn_x合金的组分与晶格常数.实验得到的晶格常数相对Vegard定律具有较大的正偏离,弯曲系数b=0.211 A.
苏少坚成步文薛春来张东亮张广泽王启明
关键词:晶格常数
迁移增强外延GaAs/Al/GaAs材料生长及其俄歇分析
1996年
在配有液N2冷却As快门的分子束外延设备中利用迁移增强外延(MEE)方法于低温下生长了GaAs/Al/GaAs结构材料。俄歇测量结果表明,用MEE方法生长的材料中Al和GaAs之间的互扩散大大减小,在500℃热处理后也没有引起多大的互扩散。我们还发现在高指数GaA5(113)B面上用MEE方法生长GaAs薄膜效果更好。
钟战天崔玉德曹作萍张广泽孙学浩张立宝肖君朱勤生邢益荣
关键词:俄歇分析砷化镓
共3页<123>
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