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孙鹏: 作品数：20 被引量：15H指数：2; 供职机构：厦门大学化学化工学院更多>>; 发文基金：国家科技支撑计划更多>>; 相关领域：金属学及工艺政治法律自动化与计算机技术电子电信更多>>

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玻璃通孔化学镀金属化研究进展: 2025年; 随着摩尔定律逐渐达到物理极限,电子器件向“小、巧、精”发展的同时也对先进封装技术提出了更高的要求。玻璃基板由于具有优秀的高频应用能力、热膨胀系数灵活可调、成本低廉以及大尺寸超薄玻璃基板易于获取等优点,目前已受到国内外企业及科研院所的青睐。金属化工艺作为玻璃通孔(TGV)中的关键环节,决定了集成芯片电气连接的性能。当前,TGV金属化主要通过物理气相沉积(PVD)技术实现。但PVD工艺的成本高昂,沉积速度慢且处理高深宽比盲、通孔的效果差,使得通过湿法工艺对TGV进行金属化受到了广泛关注。针对此,阐述了TGV化学镀沉积机理并综述了近年来的研究现状及提升镀层与玻璃基板黏附性的关键技术,同时对未来发展方向提出见解。; 孙鹏钟毅于大全; 关键词：化学镀自组装金属氧化物

Zr_(1-x)Si_xN纳米涂层的制备及其力学性能被引量：2: 2010年; 采用直流与射频共溅射技术制备Zr1-xSixN纳米涂层。通过改变Si靶溅射功率控制涂层中Si含量,研究了不同Si含量对Zr1-xSixN涂层的物相结构、晶粒尺寸、硬度和摩擦磨损性能的影响,探索了Zr1-xSixN纳米涂层的致硬机理。结果表明:Si的掺入影响Zr1-xSixN涂层的择优取向和相结构,随着Zr1-xSixN涂层中Si含量的增加,涂层截面的形貌由柱状晶转变为非柱状等轴晶,其结构的变化为:固溶体→nc-ZrN/α-Si3N4结构→非晶结构。涂层的晶粒尺寸在12～30nm之间。对于Si含量低于3.14%(摩尔分数)的Zr1-xSixN涂层,由于固溶强化作用使硬度随Si含量增加而增大,对于Si含量高于3.14%的Zr1-xSixN涂层,通过晶粒的转动和原子在晶界的移动能产生塑性形变,提高了涂层塑性形变能力,使得硬度下降。Zr1-xSixN涂层的耐磨损性能随Si含量的增加而增强。; 黄若轩孙鹏朱芳萍祁正兵王周成

一种硬质合金刀具表面氮铝钛涂层浸蚀剂及其使用方法: 一种硬质合金刀具表面氮铝钛涂层浸蚀剂及其使用方法，涉及一种涂层浸蚀剂。提供一种可以有效地显示硬质合金表面TiAlN涂层组织结构，以达到区分涂层晶界、表征涂层组织结构的硬质合金刀具表面氮铝钛涂层浸蚀剂及其制备方法和使用方法...; 王周成孙鹏祁正兵; 文献传递

一种高硬度氮化锆硬质涂层的制备方法: 一种高硬度氮化锆硬质涂层的制备方法，涉及一种硬质涂层的制备方法。基体预处理：将硬质合金基体研磨，抛光后清洗，烘干待用；先进行预溅射后，再进行溅射沉积。采用磁控溅射法通过控制溅射沉积的气氛、基体温度以及基体偏压等工艺条件在...; 王周成祁正兵黄若轩孙鹏朱芳萍; 文献传递

在硬质合金基体表面制备纳米结构氮钇锆硬质涂层的方法: 在硬质合金基体表面制备纳米结构氮钇锆硬质涂层的方法，涉及一种硬质合金。提供一种采用磁控溅射法，在硬质合金基体表面制备纳米结构氮钇锆硬质涂层的方法。在经过机械抛光、超声清洗以及离子源清洗处理过的硬质合金基体表面，采用直流和...; 王周成祁正兵黄若轩孙鹏朱芳萍

一种硬质合金刀具表面氧化铝涂层浸蚀剂及其使用方法: 一种硬质合金刀具表面氧化铝涂层浸蚀剂及其使用方法，涉及一种刀具涂层浸蚀剂。提供一种可以有效地显示硬质合金刀具表面HT－CVD氧化铝涂层显微结构的硬质合金刀具表面氧化铝涂层浸蚀剂及其使用方法。浸蚀剂的成分及其按体积比的含量...; 王周成祁正兵孙鹏; 文献传递

PVD-TiAIN硬质涂层的高温摩擦学行为研究: TiAlN是一种生产工艺成熟、加工性能优异，且极具代表性的硬质耐磨涂层，在切削刀具表面的应用非常广泛。相对于传统的TiN等金属氮化物涂层，TiAlN涂层最突出的特点是其在高速切削和高温氧化条件下表现出来的优异摩擦学性能，...; 孙鹏; 关键词：高温氧化行为多弧离子镀电子能谱仪; 文献传递