马兆侠
- 作品数:4 被引量:5H指数:2
- 供职机构:中国工程物理研究院激光聚变研究中心更多>>
- 发文基金:中国工程物理研究院基金高温高密度等离子体物理国家重点实验室更多>>
- 相关领域:理学机械工程自动化与计算机技术更多>>
- 掺溴非晶碳梯度薄膜的制备与分析被引量:2
- 2007年
- 采用低压等离子增强化学气相沉积法用溴乙烷、氢气制备了掺溴的非晶碳梯度薄膜。通过样品的XPS能谱分析研究了薄膜沉积速率与氢气流量、溴元素原子分数与溴乙烷流量以及溴元素原子分数与刻蚀时间之间的关系,得出了溴乙烷流量、刻蚀时间对薄膜的主要键态含量、C元素sp2/sp3键态杂化比和薄膜硬度的影响。结果表明:薄膜沉积速率随氢气流量的增加而线性减小,溴元素含量随溴乙烷流量的增加先增加后降低,刻蚀时间越长,溴乙烷流量越小,薄膜越硬。
- 马兆侠吴卫东冯建鸿程新路唐永建杨向东
- 关键词:化学气相沉积非晶碳
- VB界面下用并口实现多通道质量流量计自动化控制
- 2005年
- 分析了MKS公司生产的气体流量控制系统247CFour-ChannelReadout的工作原理,并通过实验得出系统的工作曲线,并设计出该仪器与PC并口的接口电路。控制软件用VB高级语言编写,界面友好,操作简便。其实现方法可供一般微电压信号控制仪器的自动化改进参考。
- 马兆侠吴卫东程新路冯建鸿唐永建
- 关键词:并口自动化控制自动化控制VB界面质量流量计并口多通道控制仪器
- 掺溴非晶碳氢梯度薄膜的制备
- 在激光惯性约束聚变/(ICF/)领域中,非晶碳氢/(α:CH/)由于其特殊性能常被用作微球表面CH烧蚀层材料,以研究内爆动力学。随着ICF研究工作的深入,精密诊断越来越要求掺杂有中、高Z元素/(特别是Ge、Br、Se等/...
- 马兆侠
- 关键词:数模转换控制自动化质量流量计紫外-可见光谱傅立叶变换红外光谱
- 文献传递
- 质量流量计流量调节自动化的实现被引量:3
- 2005年
- 文章分析了MKS公司生产的气体流量控制系统247CFour-ChannelReadout的工作原理,并通过实验得出系统的工作曲线,利用PC机并口和数模转换器的简单连接实现了该系统的自动化调节。其实现方法对一般微电压信号控制仪器的自动化改进有一定的参考价值。
- 马兆侠吴卫东程新路唐永建
- 关键词:数模转换器自动控制