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陈柱成

作品数：3 被引量：1H指数：1
供职机构：北京大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇学位论文
  • 1篇期刊文章

领域

  • 2篇一般工业技术

主题

  • 3篇掩模
  • 3篇纳米
  • 2篇原子力显微镜
  • 2篇自组装
  • 2篇纳米加工技术
  • 2篇AFM
  • 1篇单分子
  • 1篇单分子膜
  • 1篇自组装单分子...
  • 1篇金纳米粒子
  • 1篇硅表面
  • 1篇分子
  • 1篇分子膜
  • 1篇硅

机构

  • 3篇北京大学

作者

  • 3篇陈柱成
  • 1篇刘忠范
  • 1篇郑激文

传媒

  • 1篇物理化学学报

年份

  • 3篇2001
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
基于金纳米粒子掩模的硅表面纳米结构加工被引量：1
2001年
利用金溶胶纳米粒子为掩模，结合轻敲模式原子力显微镜（ＴＭ－ＡＦＭ）的局域氧化技术和化学湿法腐蚀，对Ｓｉ表面进行纳米尺度的结构加工，得到柱状和环状纳米结构．实验结果表明，氧化过程中ＡＦＭ针尖与样品平均间距的大小显著影响后续纳米结构的形状．保持一定的氧化偏压、扫描速度和相对湿度，当针尖与样品间距为７．５ ｎｍ时，可得到柱状纳米结构；而当间距减小到 ５ｎｍ时，则得到带芯环状纳米结构．不同几何形状的纳米结构形成的原因是体系中纳米粒子物理屏蔽效应．
陈柱成郑激文刘忠范
关键词：原子力显微镜自组装金纳米粒子硅掩模
纳米粒子掩模AFM纳米加工技术及机理研究
纳米结构的加工与组装是当前纳米科技的一个研究热点.该论文将AFM加工技术与"自下而上"的结构组装思想有机结合起来,探索了以组装在Si表面的金纳米粒子为氧化掩模进行AFM纳米结构加工的可行性.
陈柱成
关键词：自组装单分子膜掩模
纳米粒子掩模 AFM 纳米加工技术与机理研究
陈柱成
关键词：AFM纳米加工技术
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共1页<1>
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