孙晓军
- 作品数：7 被引量：34H指数：3
- 供职机构：山东大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金山东省自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信电气工程理学政治法律更多>>
- 电子束静电折板偏转系统研究被引量：2
- 2005年
- 以SDS -3电子束曝光机为基础,用折板结构静电偏转替代直板结构静电偏转,探讨了电子束曝光机折板静电偏转场的电子轨迹与电位分布应满足的要求。导出了折板静电偏转灵敏度与电位分布之间的关系,给出静电偏转像差方程及像差系数。用矢量描写电子轨迹,以积分式表示像差系数,给出了折板结构方程与参量。像差系数适应计算机辅助运算。结果表明,折板结构静电偏完成的图像像差明显优于原直板结构静电偏。提供了静电折板偏转与直板偏转的相关计算数据及摩尔栅条纹图。
- 尹明金萍孙晓军柴杉
- 关键词：电子束像差折板结构静电偏转曲率
- 电子束背散射在胶层中的能量沉积被引量：2
- 2002年
- 模拟了散射电子在PMMA(聚甲基丙烯酸甲酯 )电子束胶层中的能量沉积分布。在处理电子穿越衬底的边界时 ,采用了几率确定法 ,用以判断电子是否在界面处发生一次弹性散射。
- 张玉林尹明孙晓军
- 关键词：胶层
- 电子束真空辐射固化技术基础研究被引量：7
- 2004年
- 提出了电子束真空辐射固化技术新概念,并对该技术的固化机理等进行了阐述。通过对液态低聚物辐射固化条件和SDS-II型曝光机的加速电压、曝光剂量等曝光参数的分析研究,得出SDS-II型曝光机可以用于液态低聚物辐射固化的结论。在此基础上使用SDS-II型曝光机在20kV的加速电压、2μC/cm2的曝光剂量下,对经真空挥发处理过的三羟甲基丙烷三丙烯酸酯(TMPTA)液态低聚物进行了曝光试验,得到了固化结构。基本上证明了电子束真空辐射固化液态低聚物的可行性,为微机电三维微结构的加工提供了一种新方法。
- 孔祥东孙晓军张玉林宋会英
- 关键词：低聚物电子束真空
- 发电机功角微机测量及其应用被引量：17
- 1993年
- 介绍一种新型的用于电力系统稳定性研究的发电机功角微机测量装置。装置采用8098单片机构成,不仅可实现功角的实时显示,而且还可实现在线打印以及功率和发电机转速的测量。
- 刘素英梁军李欣唐孙晓军
- 关键词：电力系统稳定性功角测量发电机
- 细电子束Cockcroft-Walton加速器的研究被引量：3
- 2004年
- 细电子束由加速器通过电子枪发射电子 ,经电子透镜及偏转射向目标靶 .以SDS 3电子束曝光机为基础 ,完成了电子束Cockcroft Walton加速器噪声抑制的最优状态实验 .系统为加速器调整电路提供一个正比于输入电压的电流 .补偿放大器是由一个主放大器和一个辅助放大器组成 ,辅助放大器消除了主放大器自身的失调漂移 .文中介绍了复合调整式Cockcroft Walton加速器的总体设计方案 ,给出了实现加速器高稳定度的关键技术措施 .从加速器总输出中滤去噪声信号 ,获得稳定的输出电压 。
- 尹明孙晓军
- 关键词：电子束电子透镜噪声抑制补偿电路稳定度
- 电子束曝光机大物面强磁透镜的研究被引量：3
- 2004年
- 以SDS 3电子束曝光机的聚焦透镜系统为基础 ,在 0 .0 0 5弧度半张角 ,3× 10 - 5的高压纹波 ,5 0mm的像距 ,30× 30mm扫描场的条件下 ,研究了电磁透镜成像的笛卡尔坐标系中的近轴轨迹方程 ,给出了相应的计算初值条件和实例 讨论了电子束曝光机聚焦透镜系统中的球差、彗差、像散。
- 尹明孙晓军
- 关键词：电子束曝光机透镜像差
- 论未成年监护责任的归责原则
- 未成年人致人损害，其父母作为监护人是否要承担责任，该责任的性质是替代责任还是自己责任，该适用何种归责原则，在我国学界一直存在着很大的争议。
本文运用民法学思维，采用比较研究、实证分析的方法对特殊侵权责任之一的未成年...
- 孙晓军
- 关键词：未成年人监护人责任归责原则民法学
