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粱倩
作品数:
2
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复旦大学
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相关领域:
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合作作者
薛龙龙
复旦大学
吕银祥
复旦大学
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复旦大学
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吕银祥
2篇
粱倩
2篇
薛龙龙
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2014
1篇
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一种微米级线宽的柔性铜电极图形的制备方法
本发明属于微电子材料领域,涉及一种微米级线宽的柔性铜电极图形的制备方法。本发明提出的制备方法是一种“全加成”法,即金属铜只沉积在塑料基板上预定的位置。具体工艺包括塑料基板洗净、烘干、表面改性、光掩膜下紫外照射、选择性催化...
吕银祥
薛龙龙
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一种微米级线宽的柔性铜电极图形的制备方法
本发明属于微电子材料领域,涉及一种微米级线宽的柔性铜电极图形的制备方法。本发明提出的制备方法是一种“全加成”法,即金属铜只沉积在塑料基板上预定的位置。具体工艺包括塑料基板洗净、烘干、表面改性、光掩膜下紫外照射、选择性催化...
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