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王晓皓

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：清华大学更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文专利

主题

  • 2篇电极
  • 2篇压焊
  • 2篇谐振梁
  • 2篇惯性传感
  • 2篇惯性传感器
  • 2篇硅基
  • 2篇硅基底
  • 2篇感器
  • 2篇传感
  • 2篇传感器
  • 2篇电引线

机构

  • 2篇清华大学

作者

  • 2篇周兆英
  • 2篇叶雄英
  • 2篇谭苗苗
  • 2篇王晓皓

年份

  • 1篇2009
  • 1篇2006
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
一种微纳结构的惯性传感器本体及其制作方法
本发明涉及一种微纳结构的惯性传感器本体包括：硅基底和在其上设置的绝缘层，2个条带形电极设置在绝缘层上部的两边；2组一维纳米材料的谐振梁分别搭放在质量块与第一电极，和质量块与第二电极之间，或一组谐振梁经过质量块从第一电极搭...
叶雄英谭苗苗周兆英王晓皓
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一种微纳结构的惯性传感器本体及其制作方法
本发明涉及一种微纳结构的惯性传感器本体包括：硅基底和在其上设置的绝缘层，2个条带形电极设置在绝缘层上部的两边；2组一维纳米材料的谐振梁分别搭放在质量块与第一电极，和质量块与第二电极之间，或一组谐振梁经过质量块从第一电极搭...
叶雄英谭苗苗周兆英王晓皓
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