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宋泽华

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：中国石油吉化集团公司更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文科技成果

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇紫外
  • 1篇光刻
  • 1篇光刻胶

机构

  • 1篇中国石油吉化...

作者

  • 1篇奚光宏
  • 1篇徐其芬
  • 1篇李鹤春
  • 1篇刘凤春
  • 1篇王静娴
  • 1篇依建伟
  • 1篇宋泽华
  • 1篇赵振民

年份

  • 1篇1994
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
紫外负胶用稀土聚异戊二烯原胶的研制
徐其芬依建伟李鹤春王静娴赵振民刘凤春奚光宏宋泽华
稀土聚异戊二烯原胶是制作紫外负型光刻胶的主要基础原料，其研制和生产水平直接或间接地影响着光刻胶的生产和集成电路技术的发展。该成果开发了满足相当OMR-85光刻胶水平用的原胶，完善了10吨/年原胶的中试生产装置，完成了光刻...
关键词：
关键词：光刻胶
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