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仇洪波

作品数：2 被引量：5H指数：1
供职机构：山东科技大学更多>>
发文基金：中国科学院知识创新工程重要方向项目国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信电气工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇电子电信
  • 1篇电气工程

主题

  • 2篇电池
  • 2篇原子层沉积
  • 1篇电池性能
  • 1篇氧化铝
  • 1篇氧化铝薄膜
  • 1篇太阳电池
  • 1篇太阳能
  • 1篇太阳能电池
  • 1篇互连
  • 1篇互连技术
  • 1篇光伏
  • 1篇光伏电池
  • 1篇分离膜
  • 1篇ALD
  • 1篇催化
  • 1篇催化剂

机构

  • 2篇山东科技大学
  • 1篇中国科学院微...

作者

  • 2篇仇洪波
  • 1篇刘邦武
  • 1篇李惠琪
  • 1篇万军
  • 1篇李勇
  • 1篇李超波
  • 1篇夏洋
  • 1篇陈波

传媒

  • 1篇微纳电子技术

年份

  • 1篇2014
  • 1篇2012
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
原子层沉积氧化铝在光伏电池中的应用技术研究
利用晶体硅太阳能电池发电是解决当今环境问题和能源短缺问题的重要途径之一。通过新技术新工艺打破传统提高太阳能电池的转换效率具有非常深远的意义，改善表面的钝化质量，降低表面的复合速率已经成为提高电池效率的重要手段之一。近年来...
仇洪波
关键词：太阳能电池原子层沉积氧化铝薄膜电池性能
文献传递
原子层沉积技术研究及其应用进展被引量：5
2012年
原子层沉积(ALD)技术是制备复杂纳米结构材料以及材料表面改性的关键技术,该技术已得到了国内外学术界的大量研究。简单介绍了ALD技术、沉积过程、该技术的优点以及该技术可以沉积的薄膜材料,重点论述了ALD技术的应用进展,主要包括半导体方面(如IC互连技术、电容器、太阳电池晶体硅表面钝化)以及纳米结构材料方面(如催化剂与燃料电池、光催化、太阳电池、分离膜)。最后,指出了目前ALD在材料制备和生产工艺方面所面临的挑战,并对其未来发展进行了展望。
仇洪波刘邦武夏洋李惠琪陈波李超波万军李勇
关键词：太阳电池互连技术催化剂分离膜
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