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梅斌

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇摇摆曲线
  • 1篇高分辨X射线...
  • 1篇X射线衍射分...
  • 1篇INALAS
  • 1篇INGAAS...
  • 1篇INP衬底
  • 1篇衬底

机构

  • 1篇中国科学院

作者

  • 1篇李耀耀
  • 1篇魏林
  • 1篇李爱珍
  • 1篇梅斌
  • 1篇徐刚毅
  • 1篇李华

传媒

  • 1篇功能材料与器...

年份

  • 1篇2008
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
基于InP衬底的应变和应变补偿的InGaAs/InAlAs材料的高分辨X射线衍射分析(英文)
2008年
高分辨率X射线衍射技术被用来分析基于InP衬底的应变的InGaAs和InAlAs单层材料和应变补偿的InGaAs/InAlAs超晶格材料。通过倒空间mapping得到的单层材料的错向角大约为10-3度,可以忽略不计。通过摇摆曲线得到了单层材料的组分和体失配度,接着单层材料的结果被用来分析在相同的条件下利用MBE技术生长的超晶格材料。利用倒空间mapping精确得到了超晶格的平均垂直失配度和各层的厚度,通过X射线模拟软件得到的超晶格材料的模拟曲线和实测曲线吻合的很好。
梅斌徐刚毅李爱珍李华李耀耀魏林
关键词：高分辨X射线衍射INALAS摇摆曲线
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