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林秀青

作品数：4 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院更多>>
相关领域：电气工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 4篇中文专利

领域

  • 1篇电气工程

主题

  • 2篇电机
  • 2篇电机驱动
  • 2篇电机驱动器
  • 2篇电信号
  • 2篇信号
  • 2篇真空
  • 2篇真空设备
  • 2篇真空室
  • 2篇制程
  • 2篇伺服
  • 2篇伺服电机
  • 2篇铜套
  • 2篇驱动器
  • 2篇开关
  • 2篇控制程序
  • 2篇控制系统
  • 2篇交流伺服
  • 2篇交流伺服电机
  • 2篇工控
  • 2篇工控机

机构

  • 4篇中国科学院

作者

  • 4篇林秀青
  • 2篇汪良
  • 2篇耿达
  • 2篇戚晖
  • 2篇徐英凤
  • 2篇佟雷
  • 2篇佟辉
  • 2篇孙影

年份

  • 1篇2013
  • 1篇2012
  • 1篇2011
  • 1篇2010
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
一种运动部件位置的真空信号引出装置
本发明涉及将真空环境内的信号引出到大气环境的设备，具体地说是一种运动部件位置的真空信号引出装置，波纹管及法兰依次套设在直杆上，波纹管的一端与直杆相连，另一端与法兰的一端连接，法兰的另一端与真空室密封连接；所述直杆位于法兰...
佟雷汪良孙影林秀青佟辉
运动部件位置的真空信号引出装置
本实用新型涉及将真空环境内的信号引出到大气环境的设备，具体地说是一种运动部件位置的真空信号引出装置，波纹管及法兰依次套设在直杆上，波纹管的一端与直杆相连，另一端与法兰的一端连接，法兰的另一端与真空室密封连接；所述直杆位于...
佟雷汪良孙影林秀青佟辉
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一种真空设备运动定位控制系统及控制方法
本发明公开一种真空设备运动定位控制系统及控制方法，该真空设备运动定位控制系统包括PLC、工控机、现场设备及传感器；其中，PLC为主控部件，其输入端接收现场传感器信号，与工控机进行通讯连接，输出端接现场设备，所述现场设备包...
戚晖耿达林秀青徐英凤
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一种真空设备运动定位控制系统
本实用新型公开一种真空设备运动定位控制系统，该真空设备运动定位控制系统包括PLC、工控机、现场设备及传感器；其中，PLC为主控部件，其输入端接收现场传感器信号，与工控机进行通讯连接，输出端接现场设备，所述现场设备包括步进...
戚晖耿达林秀青徐英凤
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