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齐威

作品数：66 被引量：1H指数：1
供职机构：中国科学院光电研究院更多>>
相关领域：机械工程自动化与计算机技术理学电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 65篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 6篇机械工程
  • 5篇自动化与计算...
  • 3篇电子电信
  • 3篇理学
  • 1篇矿业工程
  • 1篇文化科学

主题

  • 26篇光学
  • 19篇感器
  • 19篇传感
  • 19篇传感器
  • 18篇激光
  • 12篇波前
  • 12篇波前传感器
  • 10篇哈特曼波前传...
  • 9篇准分子
  • 9篇准直
  • 9篇准直物镜
  • 9篇物镜
  • 9篇激光器
  • 9篇分子
  • 8篇衍射
  • 8篇准分子激光
  • 8篇光束
  • 7篇光源
  • 6篇色散
  • 6篇深紫外

机构

  • 66篇中国科学院光...

作者

  • 66篇齐威
  • 56篇王宇
  • 56篇齐月静
  • 50篇卢增雄
  • 38篇苏佳妮
  • 37篇杨光华
  • 24篇周翊
  • 20篇李兵
  • 13篇刘斌
  • 10篇赵江山
  • 10篇丁金滨
  • 9篇刘广义
  • 8篇张清洋
  • 6篇梅东滨
  • 6篇王魁波
  • 6篇沙鹏飞
  • 6篇孟庆宾
  • 4篇张立佳
  • 3篇陈进新
  • 3篇韩晓泉

传媒

  • 1篇光学学报

年份

  • 1篇2024
  • 4篇2023
  • 2篇2020
  • 9篇2019
  • 17篇2018
  • 18篇2017
  • 6篇2016
  • 5篇2015
  • 1篇2014
  • 3篇2013
共 66 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种微孔衍射波前质量的测量装置与方法
本发明是关于一种微孔衍射波前质量的测量装置与方法，是采用夏克‑哈特曼波前传感器法进行微孔衍射波前质量的测量。其通过高精度平面参考波前实现夏克‑哈特曼波前传感器的高精度标定，再根据高精度系统误差的标定结果进行微孔衍射波前形...
卢增雄梅东滨齐月静孟庆宾刘广义齐威苏佳妮周翊王宇
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一种基于全反射原理的液体透过率测量装置
本实用新型提出一种基于全反射原理的液体透过率测量装置，所述测量装置顺次包括光源，第一光学棱镜，样品管，第二光学棱镜，所述测量装置还包括用于移动第一光学棱镜的第一精密位移台，用于移动第二光学棱镜的第二精密位移台，探测系统，...
苏佳妮齐月静齐威卢增雄杨光华王宇
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光刻光源传输光路系统的辅助调整装置及调整方法
本发明提供了一种光刻光源传输光路系统的辅助调整装置及调整方法，该辅助调整装置包括能够分别安装在不同的所述反射镜装置上的第一辅助架和第二辅助架，第一辅助架的前端表面设有透光的标记部，标记部位于第一辅助架的中心，第一辅助架的...
苏佳妮齐月静王宇卢增雄杨光华齐威
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一种光谱共焦测量系统在线标定装置与方法
本发明公开了一种光谱共焦测量系统在线标定装置和方法，该装置包括白光宽光谱光源、滤光片、双分支光纤、光纤出射光束、色散物镜、色散物镜出射光束、待测物、位移传感器、光谱仪和计算机，该方法包括转动滤光片的滤光片轮，让白光宽光谱...
齐月静卢增雄杨光华齐威苏佳妮张清洋李兵王宇
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一种光学测量台架装置
本发明涉及一种光学测量台架装置，该台架结构从上至下包括均匀照明系统、平板支撑结构、下层支撑框架、位移台、可移动气浮基座。该台架装置解决了夏克‑哈特曼传感器、双光栅剪切干涉等检测系统的结构调整困难的问题，并且具有一定范围的...
齐威齐月静王宇卢增雄
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一种激光修复与抛光陶瓷零件的方法
本发明公开了一种激光修复与抛光陶瓷零件的方法，包括清洗陶瓷零件，将陶瓷零件装配至三维移动平台；扫描所述陶瓷零件的表面轮廓，将所扫描的轮廓模型与标准模型相对比，划分出所述陶瓷零件表面的刻蚀区、抛光区、烧结区；利用准分子激光...
郭馨周翊丁金滨刘斌张立佳王宇赵江山齐威
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激光器的整机框架
本实用新型公开了一种激光器的整机框架，所述激光器包括放电腔以及与该放电腔相关的光学系统，所述整机框架包括安装基座(1)、基础框架(2)、光学系统框架(3)和放电腔框架(4)，其中，所述安装基座(1)是该整机框架的基座，用...
丁金滨齐威刘斌沙鹏飞周翊王宇赵江山
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一种基于全反射原理的液体透过率测量装置及方法
本发明提出一种长距离液体透过率的测量装置以及测量方法，所述测量装置顺次包括光源，第一异形光学棱镜，样品管，第二异形光学棱镜，所述测量装置还包括用于移动第一异形光学棱镜的第一精密位移台，用于移动第二异形光学棱镜的第二精密位...
苏佳妮齐月静齐威卢增雄杨光华王宇
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一种激光干涉仪调整座
本发明公开了本一种激光干涉仪调整座，用于固定激光干涉仪的探头并调节该探头的位置，调整座包括导向底板、下层弧形构件及上层弧形构件；其中，导向底板上自下而上依次叠置下层弧形构件和上层弧形构件；导向底板为平板结构，下层弧形构件...
梅东滨齐威齐月静杨光华李兵
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一种多孔陶瓷的准分子激光抛光及检测方法
本发明公开了一种多孔陶瓷的准分子激光抛光和检测方法，其特征在于，包括以下步骤：利用表面粗糙度分析设备扫描多孔陶瓷待加工面的表面轮廓，使用光束均匀器和聚焦透镜实现准分子激光光束的聚焦和匀化，确定抛光用准分子激光的离焦量，规...
郭馨王宇丁金滨刘斌张立佳周翊赵江山齐威
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