樊永祥
- 作品数：2 被引量：26H指数：2
- 供职机构：西安电子科技大学微电子学院宽禁带半导体材料与器件教育部重点实验室更多>>
- 发文基金：武器装备预研基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 压电薄膜微传感器振动模态的仿真分析被引量：20
- 2006年
- 以压电本构方程为基础,建立了压电薄膜微传感器机电耦合的有限元模型,采用有限元分析软件ANSYS7.0对压电薄膜微传感器进行了模态分析,同时分析了压电薄膜微传感器的结构尺寸对振动模态的影响,探讨了影响压电薄膜微传感器工作稳定性和响应速度的关键因素,结果表明为了提高压电薄膜微传感器的工作稳定性和响应速度,应该在符合工艺要求和保证其它特性的前提下,尽量减小微悬臂梁结构长度,增加多晶硅层厚度,限制PZT层厚度,而微悬臂梁宽度的影响较小。
- 娄利飞杨银堂樊永祥李跃进
- 关键词：压电薄膜有限元分析微传感器模态分析
- 不同几何参数对螺旋电感性能的影响研究被引量：6
- 2005年
- 采用Matlab软件进行编程计算,结果显示减小电感填充率可以有效增大电感值,而增大电感金属条宽度与间距之比或减小两者之和都可以有效提高电感 Q值。作为实例设计实现了一个电感值为8 nH工作在2 GHz时 Q值为4.34的正方形螺旋电感。
- 樊永祥杨银堂
- 关键词：螺旋电感Q值
