您的位置： 专家智库 > >

张正元

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：信息产业部更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇国内会议论文

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇多晶
  • 1篇多晶硅
  • 1篇压力传感器
  • 1篇真空微电子
  • 1篇真空微电子压...
  • 1篇抛光
  • 1篇批量化
  • 1篇批量化生产
  • 1篇力传感器
  • 1篇感器
  • 1篇传感
  • 1篇传感器

机构

  • 1篇信息产业部

作者

  • 1篇冯建
  • 1篇张正元
  • 1篇杨国渝
  • 1篇陈红

传媒

  • 1篇第五届全国微...

年份

  • 1篇2001
共 1 条 记 录，以下是 1-1
全选 清除 导出
排序方式：
用于真空微电子压力传感器批量化生产隔离的技术
在阳极膜上进行各项异性腐蚀硅深槽,采用外延方式生长多晶硅,进行填槽,再对表面进行化学机械抛光,实现了槽隔离的批量化生产.
杨国渝冯建张正元陈红
关键词：多晶硅抛光压力传感器真空微电子
文献传递
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0