张利群
- 作品数：10 被引量：32H指数：2
- 供职机构：中国电子工程设计院更多>>
- 相关领域：建筑科学电子电信天文地球更多>>
- FFU的应用被引量：24
- 2003年
- 本文通过对我国市场上销售的FFU进行性能测试和工程设计经验,总结了FFU的应用与选择上的注意事项,供读者参考。
- 张利群
- 关键词：风机过滤器洁净室噪声
- 再谈乱流(非单向流)洁净室的气流组织
- 乱流(非单向流)洁净室的净化空调原理是:经空调器预过滤和热湿处理的空气再经洁净室吊顶上的高效过滤器过滤后送入洁净室内,送入室内的洁净空气迅速向四周扩散、混合;稀释室内的污染,抵消室内产生的热和湿,再由回风口到空调器.这样...
- 张利群
- 关键词：乱流洁净室气流组织空气过滤器
- 文献传递
- 电子工厂高级别洁净厂房的建造特点
- 本文介绍了电子工厂生产工艺对受控环境的要求，指出电子工厂高级别洁净室多采用混合流洁净室，浅谈了电子工厂高级别洁净室的建造费用。
- 张利群
- 关键词：电子工厂生产工艺
- 文献传递
- 对高级别洁净厂房空调设计的探讨被引量：7
- 2004年
- 微电子、光电子产业是国民经济和科学技术的基础,发展迅速,更新换代快,对环境要求严格,初投资高、运行费大,要求安全、可靠、灵活,对这样的洁净厂房,本文提出一些行之有效的方法,供设计参考。
- 张利群
- 关键词：空调设计微电子光电子FFU
- 超大规模集成电路的生产环境和送风方式被引量：1
- 1997年
- 一、微电子工业的重要性及国内外发展 情况 当前世界微电子工业已经成为衡量一个国家的科学技术水平和经济发展实力的重要标志,也是一个国家经济发展的重要支柱。不管你愿意与否,承认与否,微电子工业是领头的,它代表着一个国家的科学技术水平和经济实力,并且影响着国民经济的各个部门。由上可以看出微电子工业对于国家经济发展是多么重要。因此。
- 张利群
- 关键词：洁净室送风方式微电子工业集成电路生产环境
- 洁净厂房设计规范
- 本规范适用于新建、扩建和改建洁净厂房的设计。
- 陈霖新张利群王唯国缪德骅晁阳赵海俞渭雄周春海秦学礼谭易和贺继行肖红梅樊勖昌张彦国黄德明牛光宏冷捷敏冯佩明
- 关键词：建筑空气净化给水排水
- 文献传递
- 电子工厂高级别洁净室的建造特点
- 本文所指的高级别洁净室是指洁净室的洁净度高(ISO-2、3、4、5级),生产环境温湿度的精度高,其他一些环境参数,例如:静压差、静电、微振、电磁、噪声、照度等参数都必须按生产工艺的要求进行严格控制的洁净室.这类面积大、环...
- 张利群
- 关键词：电子工厂生产工艺环境参数光电子产业
- 文献传递
- 电子工业洁净厂房设计规范
- 陈霖新秦学礼晁阳肖红梅穆京祥王唯国李锦生钟景华张利群侯忆高艳敏王毅勃章光护张晓敏陈骝
- 随着科学技术的发展，电子产品日新月异，以微电子产品为代表的各种电子产品生产技术发展迅速.现代电子产品要求微型化、精密化、高纯度、高质量和高可靠性，人们熟悉的手机、笔记本电脑所用的集成电路、元器件以及其组装的生产过程都要求...
- 关键词：
- 关键词：超大规模集成电路电子工业
- FFU的应用
- FFU就是将风机和过滤器组合在一起构成自身能提供动力的末端净化设备.本文研究FFU在洁净室的适应性,经济性,控制方式等应用与选择.
- 张利群夏明宝
- 关键词：风机过滤器单元FFU风机过滤器洁净室
- 文献传递
- 微环境/SMIF——IC制造的战略被引量：2
- 2000年
- 1 前言 为实现当前以及下世纪半导体制造新的收益率目标,就必须进一步提高半导体制造的环境和自动化水平。本文章就是针对当前和下世纪新的高价值、大容量IC生产对微环境/SMIF的战略进行论述。
- 张利群
- 关键词：微环境半导体IC洁净室
