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孙仁涛
作品数:
21
被引量:50
H指数:2
供职机构:
沈阳仪表科学研究院有限公司
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相关领域:
自动化与计算机技术
电气工程
电子电信
自然科学总论
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合作作者
于成民
沈阳仪器仪表工艺研究所
刘佩瑶
沈阳仪器仪表工艺研究所
王晓雯
沈阳仪器仪表工艺研究所
孔海霞
沈阳仪器仪表工艺研究所
冯桂华
沈阳仪器仪表工艺研究所
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3篇
1996
1篇
1995
1篇
1992
1篇
1991
共
21
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高性能InSb霍尔元件的设计
被引量:2
1995年
本文主要介绍了薄膜型InSb霍尔元件的芯片图形设计和磁路结构设计,并给出了设计取值范围.元件性能已得到实验验证,其主要参数指标达到了国外同类产品先进水平.
孙仁涛
于成民
孔海霞
关键词:
霍尔元件
敏感膜
薄膜低功耗强磁体磁阻传感器件
薄膜低功耗强磁体磁阻传感器件,是利用微机械加工技术和半导体平面工艺技术加工成的磁性薄膜芯片,其特征是在磁阻芯片的磁性薄膜上制作出等效电路:与直流电源相连电路中串连两个薄膜磁敏电阻,总电阻值为500~800KΩ,在两个薄膜...
孙仁涛
王晓雯
李绍恒
文献传递
30纳米磁性薄膜的制造方法
30纳米磁性薄膜的制造方法,利用真空蒸镀的方法和无氧化结晶处理工艺,其特征是选取高纯度的Ni、Co,按重量比1∶2.3的比例混合备用,用真空蒸镀的方法进行薄膜蒸镀:当真空度达到1.0×10<Sup>-6</Sup>乇时,...
孙仁涛
王晓雯
吴东阁
李绍恒
李洪儒
文献传递
低功耗磁敏电阻的研制及其应用
低功耗强磁体磁阻器件研制的主要技术难点:铁磁性薄膜的蒸镀工艺技术、结晶化处理技术、薄膜刻蚀技术、元件表面钝化技术、批量生产工艺技术。低功耗强磁体磁阻器件的主要特点:适用于测量磁场方向的变化;具有倍频输出特性,对在速度控制...
孙仁涛
吴东阁
孔海霞
王晓雯
李绍恒
刘佩瑶
李鸿儒
关键词:
强磁体
磁敏电阻
文献传递
锑化铟霍尔元件的电极及其制造方法
一种锑化铟霍尔元件的电极包括有“十”字形敏感膜和电极,电极一端与“十”字形敏感膜呈欧姆接触,另一端附着在基底上,这种电极依次经过一次刻蚀、蒸镀电极、二次刻蚀、合金化工艺制得,这种电极的电极焊点对敏感膜无损伤,焊点牢固度好...
于成民
孙仁涛
冯桂华
刘佩瑶
王晓雯
关杰
孔海霞
文献传递
高性能InSb霍尔元件及中试生产技术
于成民
孙仁涛
刘佩瑶
冯桂华
王晓雯
1.所属科技领域属于仪器、仪表科学技术领域的传感器项目。高性能锑化铟霍尔元件是用化合物半导体锑化铟材料,根据霍尔效应原理,通过半导体工艺制成的一种高灵敏度磁敏传感元件。主要用于无刷电机和各种磁敏传感器的制造中。国际市场年...
关键词:
关键词:
霍尔元件
中试生产
传感器通用术语
本标准规定了传感器的产品名称和性能特性术语。 本标准适用于传感器的生产、科学研究、教学以及其他有关技术领域。
赵志诚
李妍君
唐祯安
周兆英
廖延彪
任恕
王玉江
王善慈
虞承端
林洪
孙仁涛
关键词:
传感器
文献传递
锑化铟薄膜的制造方法
一种锑化铟薄膜的制造方法首先用电阻加热蒸发In源,在预先已加热到一定温度的基底上真空蒸镀一层In层,再用电阻加热蒸发InSb+Sb源,在其上再真空蒸镀一层InSb层,随后用电阻加热蒸发In源,在基底表面再真空蒸镀一层In...
于成民
刘佩瑶
孙仁涛
冯桂华
王晓雯
关杰
曾永宁
王晶
文献传递
新型倾斜角度传感器及其应用
介绍了一种采用液体为平衡面,当传感器倾斜时,液体浸泡电极高度不同而引起电极间阻值发生变化为基本原理,制做的一种倾斜角度传感器。通过合理布置电极位置和数量,在判断出倾斜角度的同时,可判断出倾斜的方向。最后介绍了传感器应用中...
孙仁涛
于成民
关键词:
微流量传感器
信号处理
线性化
双霍尔元件磁敏电流传感器的研究
被引量:2
1992年
采用双元件双气隙的方法制做的电流传感器大幅度降低了传感器的非线性度和位置误差,提高了传感器的抗干扰能力与量程范围。本文还建立了双元件电流传感器输出霍尔电压的理论计算模型。
于成民
曾永宁
孙仁涛
冯桂华
刘佩瑶
关杰
关键词:
电流传感器
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