赵福华
- 作品数：3 被引量：7H指数：2
- 供职机构：中国科学院西安光学精密机械研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金中科院创新基金更多>>
- 相关领域：理学机械工程一般工业技术电气工程更多>>
- 采用HfO_2/SiO_2溶胶-凝胶薄膜制备衍射光栅被引量：4
- 2008年
- 采用溶胶-凝胶方法制备了具有光敏性的HfO2/SiO2溶胶-凝胶薄膜,并利用其光敏性制备了衍射光栅.采用XPS分析了薄膜的成份,证实了Hf元素的存在.并用椭偏仪测试了薄膜的折射率,结果证实了HfO2的加入确实提高了体系的折射率.利用其光敏性,采用X射线作曝光光源通过掩模进行曝光,利用曝光部分与未曝光部分的溶解度差,在薄膜上制备了高为0.8μm、周期为1μm的衍射光栅.
- 谢永军赵福华魏伟赵小侠赵卫
- 关键词：信息光学光栅光敏
- 具有光敏性和辐射聚合性溶胶-凝胶玻璃的制备及其在微光学中的应用
- 本文制备了一种新颖的具有光敏性和辐射聚合性的HfO2-SiO2混合溶胶-凝胶玻璃。我们分别采用紫外线、X射线作曝光光源对薄膜进行了曝光，通过FTIR的测试，分析了薄膜曝光前与曝光后的结构变化，表明该材料具有良好的光敏性和...
- 赵福华
- 关键词：光敏性微光学
- 文献传递
- 具有辐射聚合能力的HfO_2/SiO_2溶胶-凝胶玻璃的制备及其X射线光刻性能研究被引量：3
- 2006年
- 采用溶胶-凝胶方法制备了一种新颖的具有辐射聚合能力的H fO2/S iO2凝胶薄膜.并采用X射线作曝光光源对薄膜进行了曝光,通过FTIR的测试,分析了薄膜曝光前后的结构变化.结果表明,该材料具有良好的辐射聚合能力.采用XPS分析了薄膜的成分,并证实了H f元素的存在.用椭偏仪测试了薄膜的折射率,结果证实,加入H fO2提高了体系的折射率.利用其辐射聚合能力,采用X射线通过掩模板进行曝光,利用曝光部分与未曝光部分在溶剂中的溶解度差,在薄膜上制备了高为0.8μm、周期为1μm的衍射光栅,进一步证实了材料具有良好的辐射聚合能力.
- 赵福华谢永军许素莲刘刚付绍军
- 关键词：HFO2/SIO2溶胶-凝胶光栅
