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谢会开

作品数：102 被引量：11H指数：2
供职机构：北京理工大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信机械工程理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 91篇专利
  • 8篇期刊文章
  • 2篇会议论文
  • 1篇学位论文

领域

  • 30篇自动化与计算...
  • 10篇电子电信
  • 7篇机械工程
  • 5篇理学
  • 3篇一般工业技术
  • 2篇电气工程
  • 2篇文化科学
  • 1篇化学工程
  • 1篇交通运输工程

主题

  • 22篇感器
  • 22篇传感
  • 22篇传感器
  • 17篇MEMS
  • 10篇静电
  • 10篇镜面
  • 9篇驱动臂
  • 8篇电阻
  • 8篇压电
  • 7篇电热
  • 7篇电子设备
  • 7篇压力传感器
  • 7篇力传感器
  • 6篇扬声器
  • 6篇振膜
  • 6篇准直
  • 6篇吸合
  • 6篇光纤
  • 5篇压阻
  • 5篇驱动器

机构

  • 92篇北京理工大学
  • 11篇清华大学
  • 8篇无锡微奥科技...
  • 1篇吉首大学
  • 1篇首都医科大学
  • 1篇中国兵器工业...
  • 1篇佛山光微科技...

作者

  • 102篇谢会开
  • 5篇王华
  • 5篇刘理天
  • 4篇李国新
  • 4篇丁英涛
  • 4篇刘浩
  • 4篇霍力
  • 4篇罗斯特
  • 3篇孙曦庆
  • 3篇王震
  • 3篇魏博宇
  • 2篇陈超
  • 2篇李卫
  • 2篇李志坚
  • 2篇赵晖
  • 2篇彭文
  • 1篇许德华
  • 1篇费圭甫
  • 1篇温明生
  • 1篇张文超

传媒

  • 2篇传感器技术
  • 1篇半导体技术
  • 1篇Journa...
  • 1篇仪器仪表学报
  • 1篇能源研究与利...
  • 1篇仪表技术与传...
  • 1篇传感技术学报
  • 1篇第三届全国敏...
  • 1篇全国纳米科学...

年份

  • 28篇2025
  • 22篇2024
  • 25篇2023
  • 10篇2022
  • 2篇2021
  • 2篇2020
  • 2篇2018
  • 3篇1995
  • 2篇1994
  • 2篇1993
  • 3篇1992
  • 1篇1991
共 102 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种基于SOI与SiC的耐高温MEMS器件及其制备方法
本发明公开的一种基于SOI与SiC的耐高温MEMS器件及其制备方法，属于先进制造技术领域。本发明包括SiC、金属引线、金属电极、氧化硅绝缘层、SOI的器件层、SOI的埋氧层、SOI的基底层和空腔。SOI晶圆由三层结构组成...
汤跃谢会开岳晋标杨智文魏振南
基于圆弧形驱动与螺旋弹簧构造的压电MEMS微镜
本发明公开了基于圆弧形驱动与螺旋弹簧构造的压电MEMS微镜，该微镜由中心镜面、环形框架及四组对称分布的薄板型压电驱动单元构成复合式系统，每个驱动单元包含圆弧形压电驱动器与截面渐变的连接梁，驱动器起始端固定于框架边沿并通过...
逯遥商慧谢会开
一种用于降低动态变形的微镜结构
本发明公开了一种用于降低动态变形的微镜结构，包括镜面、扭转梁、外框架、连接杆和环连杆，所述外框架设置于所述所述镜面的外部，所述外框架连接所述扭转梁；所述连接杆包括I型连接杆、II型连接杆和III型连接杆；所述镜面与所述外...
王华谢会开曹英超贾宜龙邓耀宇徐思佳魏博宇齐强先
基于电热驱动的MEMS微型爬行机器人及其制作方法
本发明公开了一种基于电热驱动的MEMS微型爬行机器人及其制作方法，涉及微型机器人技术领域，爬行机器人包括运动足和本体，本体的两侧分别设置有多个运动足，多个运动足的延伸方向相同，各运动足均包括悬臂梁和第一材料，悬臂梁的一端...
汤跃谢会开王晓毅杨智文岳晋标丁厚伯
基于热式流量测量的便携式肺功能仪及肺功能测量方法
本申请提供了一种基于热式流量测量的便携式肺功能仪及肺功能测量方法，涉及肺功能仪研究技术领域，该肺功能仪包括：传感器组件、硬件电路、微控制器和客户端；通过将采用旁路气流流道设计的热式气流量传感器应用在肺功能仪中，实现了更高...
王晓毅蔡仕前柳子祺乐玳杉任帅谢会开
二维微镜
本公开公开了一种二维微镜。该二维微镜包括外框架及套设于所述外框架内侧的内框架；所述外框架与所述内框架之间设置有第一驱动器；所述内框架的内侧设置有第二驱动器；所述第一驱动器和所述第二驱动器均为电热驱动器，或者，所述第一驱动...
谢会开王鹏
文献传递
电磁式大声阻活塞运动式MEMS扬声器及其制造方法
本发明公开的一种电磁式大声阻活塞运动式MEMS扬声器及其制造方法。所述电磁式大声阻活塞运动式MEMS扬声器，包括基底、腔体、电磁式驱动组件、连接组件、振膜；所述基底包括基座和沿所述基座厚度方向延伸的支撑结构，所述支撑结构...
谢会开郑钦丞曹可逯遥汤跃
一种基于SiC膜片的耐高温MEMS器件及其制备方法
本发明公开的一种基于SiC膜片的耐高温MEMS器件及其制备方法，属于先进制造技术领域。本发明包括由Si晶圆制作的基底、P型SiC、N型SiC、刻蚀掩膜层、压敏电阻、体型引线、绝缘层、引线和空腔。采用P型SiC作为传感器压...
谢会开汤跃杨智文岳晋标魏振南
基于剪纸结构的双模柔性量热式流量传感器及其制备方法
本发明属于传感器技术领域，具体涉及一种基于剪纸结构的双模柔性量热式流量传感器及其制备方法。本发明通过在硅片上依次形成第一柔性基底层、第二柔性基底层、第一热敏电阻、第二热敏电阻和第三热敏电阻。与硅基加工工艺不同，本发明首创...
王晓毅刘钟一谢会开方明东
一种MEMS微位移平台及其位置检测方法
本发明公开了一种MEMS微位移平台及其位置检测方法，属于MEMS器件检测领域，主要在MEMS微镜的附近放一块位置感应元器件，将感应元器件集成到MEMS微镜中，当MEMS微镜的镜面偏转靠近感应元器件时，感应元器件会产生相应...
齐强先毛小丹曹英超焦文龙姜森林谢会开
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