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沈臻魁

作品数：16 被引量：0H指数：0
供职机构：复旦大学更多>>
相关领域：一般工业技术理学文化科学自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 15篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇一般工业技术
  • 1篇电子电信
  • 1篇电气工程
  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇文化科学
  • 1篇理学

主题

  • 12篇铁电
  • 12篇铁电薄膜
  • 8篇电畴
  • 8篇微电子
  • 6篇纳米
  • 6篇纳米压印
  • 5篇铁电材料
  • 4篇铁电薄膜材料
  • 4篇铁电存储器
  • 4篇存储器
  • 3篇电压
  • 3篇纳米压印技术
  • 3篇存储密度
  • 2篇电场
  • 2篇电畴结构
  • 2篇电学测量
  • 2篇电子工业
  • 2篇有序阵列
  • 2篇铁电性
  • 2篇热释电

机构

  • 16篇复旦大学

作者

  • 16篇沈臻魁
  • 11篇刘冉
  • 7篇陈志辉
  • 6篇万海军
  • 4篇江安全
  • 4篇宗兆翔
  • 4篇仇志军
  • 4篇陈国平
  • 2篇翁旭东
  • 1篇卢茜

年份

  • 2篇2013
  • 4篇2012
  • 5篇2011
  • 5篇2010
共 16 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种低介电常数介质薄膜的纳米压印金属图形转移的方法
本发明属于微电子技术领域，具体为一种低介电常数介质薄膜的纳米压印金属图形转移的方法。本发明利用带有金属图形的模具纳米压印低介电常数介质薄膜，实现金属图形从模具到低介电常数介质薄膜的转移，从而达到在集成电路互连制造工艺中应...
沈臻魁宗兆翔刘冉
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一种基于铁电材料纳米压印的颗粒自组装方法
本发明属于工程技术领域，具体为一种基于纳米压印铁电材料来组装颗粒的方法。它通过纳米压印铁电材料改变铁电薄膜内部的电畴结构分布，从而在薄膜内部形成内电场。在紫外光照下，不同的内电场方向对电子与空穴的驱动方向不同，从而实现颗...
沈臻魁陈国平刘冉
一种构造铁电薄膜材料表面形貌的方法
本发明属于微电子技术领域，具体为一种构造铁电薄膜材料表面形貌的方法。它利用纳米压印技术构造铁电薄膜材料表面形貌的同时，使得被压印铁电材料的电畴自发极化方向取向有序化。而且电畴自发极化方向取向有序化程度可由应力大小来控制。...
沈臻魁陈志辉卢茜刘冉
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一种基于铁电材料纳米压印的颗粒自组装方法
本发明属于工程技术领域，具体为一种基于纳米压印铁电材料来组装颗粒的方法。它通过纳米压印铁电材料改变铁电薄膜内部的电畴结构分布，从而在薄膜内部形成内电场。在紫外光照下，不同的内电场方向对电子与空穴的驱动方向不同，从而实现颗...
沈臻魁陈国平刘冉
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基于铁电薄膜电畴的极化组装微小颗粒有序阵列的方法
本发明属于电子技术领域，具体为一种基于铁电材料电畴的极化组装微小颗粒有序阵列的方法。本发明通过选择性的极化铁电薄膜的电畴而形成表面电荷的阵列图形，通过它与有极性的微小颗粒相互作用，实现微小颗粒有选择性的组装沉淀到铁电薄膜...
沈臻魁陈国平刘冉
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纳米压印技术在铁电薄膜材料上的应用
铁电材料由于其铁电、压电和热释电等特性，在非挥发存储器、传感器、非线性光学器件和微机械系统等领域有着非常广泛的应用。近些年，由于器件小型化和集成度越来越高，对铁电材料微纳加工技术的要求也越来越高。如何减少纳米结构加工过程...
沈臻魁
关键词：纳米压印铁电薄膜
基于铁电薄膜电畴的极化组装微小颗粒有序阵列的方法
本发明属于电子技术领域，具体为一种基于铁电材料电畴的极化组装微小颗粒有序阵列的方法。本发明通过选择性的极化铁电薄膜的电畴而形成表面电荷的阵列图形，通过它与有极性的微小颗粒相互作用，实现微小颗粒有选择性的组装沉淀到铁电薄膜...
沈臻魁陈国平刘冉
一种铁电溶液及其薄膜电容制备的方法
本发明属微电子技术领域，涉及一种铁电溶液及其薄膜电容制备的方法。本发明在制备先体溶液时，加入一定过量的铅原料，并配合一定的工艺流程，通过过量的铅抵消在制备铁电薄膜时的铅挥发，从而提高铁电薄膜的电学性能。所述前驱液由Pb、...
陈志辉沈臻魁万海军江安全
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一种具有高热释电性能的反铁电薄膜制备方法
本发明属于微电子技术领域，涉及一种具有高热释电性能的反铁电薄膜制备方法。本发明利用反铁电薄膜在某一临界厚度以下显示铁电性而在此临界厚度以上显示反铁电性的特征，构建一层凹凸有致具有多种不同厚度的台阶状反铁电薄膜，每一阶台阶...
万海军翁旭东陈志辉沈臻魁江安全
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一种多位铁电存储器及其电压施加方法
本发明属微电子技术领域，涉及一种多位铁电存储器及其电压施加方法。本发明利用铁电薄膜材料只有在外电场达到矫顽场时电畴才会发生极化反转的特性，构建一层凹凸有致具有多种不同厚度的台阶状铁电薄膜材料，每一阶台阶对应一种厚度，进而...
沈臻魁陈志辉刘冉仇志军万海军
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