李雄军 作品数:68 被引量:89 H指数:6 供职机构: 昆明物理研究所 更多>> 发文基金: 国家自然科学基金 国家重点基础研究发展计划 国家高技术研究发展计划 更多>> 相关领域: 电子电信 理学 自动化与计算机技术 一般工业技术 更多>>
铜掺杂多层石墨烯的制备方法 铜掺杂多层石墨烯的制备方法,涉及石墨烯,尤其是一种通过异质铜原子的掺杂,有效地调制多层石墨烯的结构和能级,从而提高多层石墨烯光电性质的铜掺杂多层石墨烯的制备方法。本发明以石墨靶材和铜靶材作为原材料,采用磁控溅射中直流和射... 唐利斌 姬荣斌 项金钟 高树雄 袁绶章 魏虹 铁筱滢 李雄军 左大凡 王燕 林占文 韩福忠文献传递 碲镉汞APD焦平面技术研究 被引量:3 2022年 采用LPE生长的中波碲镉汞材料,通过B离子注入n-on-p平面结技术制备了规模为256×256,像元中心距为30μm的碲镉汞APD焦平面探测器芯片。在液氮温度下对其增益、暗电流以及过噪因子等性能参数进行了测试分析,结果表明,所制备的碲镉汞APD焦平面芯片在-8.5 V反偏下平均增益达到166.8,增益非均匀性为3.33%;在0~-8.5 V反向偏置下,APD器件增益归一化暗电流为9.0×10^(-14)~1.6×10^(-13)A,过噪因子F介于1.0~1.5之间。此外,还对碲镉汞APD焦平面进行了成像演示,并获得了较好的成像效果。 李雄军 张应旭 陈虓 李立华 赵鹏 杨振宇 杨东 姜炜波 杨鹏伟 孔金丞 赵俊 姬荣斌关键词:碲镉汞 APD 增益 暗电流 基于长波碲镉汞红外探测器的表面钝化及退火研究 2025年 随着碲镉汞(HgCdTe)红外探测器的不断发展,碲镉汞波长已经逐渐从中波向长波/甚长波方向发展,表面效应很大程度上决定了碲镉汞红外焦平面探测器的性能,因此对表面钝化提出了更高的要求。文中通过研究磁控溅射生长的钝化层进行三温段退火改善长波器件性能,实验结果表明低温段(120~170℃)退火显著改善膜层的致密性,二次离子质谱(Secondary ion mass spectroscopy)表明高温段(320℃/2.5 h)退火高组分层厚度达到0.22μm,改善器件的表面漏电流;第三段低温(200~270℃)稳定载流子浓度在1.0×10^(16)~3.0×10^(16) cm^(-3)范围内。三温段退火工艺提高了钝化膜层的致密性、增大了碲镉汞界面的高组分过渡层厚度的同时稳定了碲镉汞材料的电学参数,为长波碲镉汞红外器件的发展奠定了基础。 王文 司洋 李轶民 王海澎 杨超伟 刘艳珍 王茹彤 赵贵琴 王向前 宋林伟 李雄军关键词:碲镉汞 长波 钝化 基于栅控二极管研究碲镉汞器件表面效应 被引量:1 2017年 采用不同工艺生长了CdTe/ZnS复合钝化层,制备了相应的长波HgCdTe栅控二极管器件并进行了不同条件下I-V测试分析.结果表明,标准工艺制备的器件界面存在较高面密度极性为正的固定电荷,在较高的反偏下形成较大的表面沟道漏电流,对器件性能具有重要的影响.通过钝化膜生长工艺的改进有效减小了器件界面固定电荷面密度,使HgCdTe表面从弱反型状态逐渐向平带状态转变,表面效应得到有效抑制,器件反向特性获得显著改善.此外,基于最优的工艺条件制备的器件界面态陷阱数量得到大幅降低,器件稳定性增强;同时器件R_0A随栅压未发生明显地变化. 李雄军 韩福忠 李东升 李立华 胡彦博 孔金丞 赵俊 朱颖峰 庄继胜 姬荣斌关键词:表面钝化 栅控二极管 I-V 一种用于碲镉汞红外探测器互连凸点的制备方法 本发明公开了一种用于碲镉汞红外探测器互连凸点的制备方法,包括:对读出电路表面进行清洗;在读出电路电极孔上端进行光刻开孔,然后依次沉积Ti、Pt、Au三层金属,经过剥离得到UBM;完成后在UBM上端进行金属凸点光刻,利用热... 杨顺虎 杨超伟 唐遥 王琼芳 左大凡 王思凡 张萤 郭瑞 杨小艺 张学斌 李雄军非晶态碲镉汞薄膜的射频磁控溅射生长及其晶化过程研究 被引量:9 2007年 在玻璃衬底上用射频磁控溅射技术进行了非晶态碲镉汞(a-HgCdTe或a-MCT)薄膜的低温生长,获得了射频磁控溅射生长a-HgCdTe薄膜的"生长窗口"。利用X射线衍射(XRD)技术对所生长的薄膜进行分析研究,a-HgCdTe薄膜的XRD衍射为典型的非晶衍射波包。椭圆偏振光谱研究结果表明,a-HgCdTe薄膜与晶态HgCdTe薄膜的折射率和消光系数均表现出明显的差异,椭圆偏振光谱技术可以作为一种非晶态半导体的结构判定手段。在90℃~215℃范围内对非晶态碲镉汞薄膜进行了真空退火处理研究其晶化过程,其晶化温度在130℃~140℃之间。 孔金丞 孔令德 赵俊 张鹏举 李志 李雄军 王善力 姬荣斌关键词:射频磁控溅射 晶化 非晶态碲镉汞的光学性质(英文) 被引量:1 2012年 采用椭圆偏振光谱技术研究了射频磁控溅射生长非晶态碲镉汞(amorphous Hg1-xCdxTe,amorphous MCT,a-MCT)薄膜的光学性质,发现非晶态碲镉汞薄膜的介电函数谱特征与晶态碲镉汞材料的明显不同,表现出与其他非晶态半导体材料类似的"波包"结构特征。基于修正的FB模型在1.0~4.0eV的能量范围内对实验结果进行了拟合分析,得到了不同组分非晶态碲镉汞薄膜的光学带隙随组分关系。通过与单晶碲镉汞光学带隙随组分变化关系的对比研究,结果表明碲镉汞的结构从晶态向非晶态转变过程中,材料的光学待续发生了明显的"蓝移"。 孔金丞 赵俊 孔令德 李雄军 王光华 杨丽丽 张鹏举 姬荣斌关键词:椭圆偏振光谱 光学性质 光电探测技术发展趋势初探 2019年 为了适应未来应用场景目标多样化、环境复杂化、任务多元化的发展需求,光电探测正向多功能、数字化、智能化、分布化、网络化方向发展;为了满足未来超远距离探测、超广域监视、超强抗干扰等应用需求,需要发展宽光谱、大格式、小像元、亚毫开尔文或单光子灵敏度、激光主/被动成像、多维度、多功能集成的智能化光电探测技术;为了同时实现大视场、高分辨率、高灵敏度、高速成像探测,需要探索颠覆传统光电探测体制的新途径。 赵俊 舒恂 王晓璇 李雄军 李家鹏 孔金丞 李东升 庄继胜关键词:光电探测 Au掺杂碲镉汞长波探测器技术研究 被引量:1 2023年 昆明物理研究所多年来持续开展了对Au掺杂碲镉汞材料、器件结构设计、可重复的工艺开发等研究,突破了Au掺杂碲镉汞材料电学可控掺杂、器件暗电流控制等关键技术,将n-on-p型碲镉汞长波器件品质因子(R_(0)A)从31.3Ω·cm^(2)提升到了363Ω·cm^(2)(λ_(cutoff)=10.5μm@80 K),器件暗电流较本征汞空位n-on-p型器件降低了一个数量级以上。研制的非本征Au掺杂长波探测器经历了超过7年的时间贮存,性能无明显变化,显示了良好的长期稳定性。基于Au掺杂碲镉汞探测器技术,昆明物理研究所实现了256×256(30μm pitch)、640×512(25μm pitch)、640×512(15μm pitch)、1024×768(10μm pitch)等规格的长波探测器研制和批量能力,实现了非本征Au掺杂长波碲镉汞器件系列化发展。 宋林伟 孔金丞 赵鹏 姜军 李雄军 方东 杨超伟 舒畅关键词:暗电流 长波红外 焦平面 一种红外焦平面探测器闪元测试装置及测试方法 本发明涉及一种红外焦平面探测器闪元测试装置及测试方法,该装置主要由黑体辐射源、低噪声电子学驱动电路、数据采集卡、计算机等组成。该方法包括:设置探测器工作条件进行基本性能测试得到探测器的盲元;两点非均匀性校正;选择要进行闪... 李立华 毛京湘 姬荣斌 李雄军 赵鹏 舒畅 姬玉龙 黄俊博 李红福 马颖婷 孔金丞文献传递