孙骐
- 作品数：38 被引量：167H指数：8
- 供职机构：同济大学更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划国家自然科学基金上海市教育委员会重点学科基金更多>>
- 相关领域：理学核科学技术电子电信一般工业技术更多>>
- 自截止腐蚀制备Si平面薄膜中的B杂质分析被引量：1
- 2002年
- 以重掺杂自截止腐蚀工艺制备的厚度为 3～ 4μm的自支撑Si平面薄膜已在X光激光和惯性约束聚变分解实验中得到应用。制备过程中 ,重掺杂B杂质的引入会对获得的Si平面薄膜的应用带来影响。本工作研究采用次级离子质谱 (SIMS)测量Si平面薄膜中B杂质的浓度分布 ,结合在软X光波段下同步辐射直接测得的Si薄膜的透过率结果 。
- 周斌黄耀东李忻孙骐车录锋沈军吴广明唐伟星熊斌王跃林
- 关键词：重掺杂硼
- 溶胶凝胶法制备SiO_2/TiO_2多层膜工艺研究被引量：4
- 2003年
- 采用溶胶-凝胶工艺,使用旋涂方法在单晶硅片、石英玻璃和K9玻璃上制备SiO2/TiO2系列多层膜。采用椭偏仪、透射电镜等对所制得的多层膜的性能进行了研究。结果表明实验条件对SiO2/TiO2多层膜的制备非常重要。通过对实验条件的改善与优化,可以镀制出性能优良的SiO2/TiO2多层膜,以用于微型谐振腔、滤光片、一维光子晶体和传统的光学高反膜的研究。
- 杨帆沈军吴广明孙骐李小丽张志华付甜
- 关键词：溶胶-凝胶法
- 紫外辐照对溶胶—凝胶光学薄膜性能的影响
- 采用溶胶-凝胶化学法制作光学薄膜已被证明是一种很有前途的新工艺。我国目前研发的新一代高功率激光装置中的主要光学元件,如隔板玻璃、倍频晶体等均需要进行化学镀膜。然而,化学法镀膜也存在一些缺陷,例如薄膜的机械强
- 杨帆沈军周斌吴广明孙骐J. Mugnier
- 关键词：溶胶-凝胶工艺机械性能激光损伤阈值
- 文献传递
- XUV成像系统中像传递函数研究用的Si刻蚀膜
- 2005年
- 研制具有网格或条状图形的Si刻蚀膜靶,用于XUV系统中像传递函数的研究。在自截止腐蚀 工艺制备Si平面薄膜的基础上,结合离子束刻蚀工艺,获得刻蚀深度为1.0μm左右,网格尺寸为25μm×25 μm,或条状线宽为5μm的Si刻蚀膜;测量了Si刻蚀膜的形貌和刻蚀深度;研究了离子束刻蚀参数对图形形貌 的影响。并介绍采用两种靶型获得的像传递函数信息。
- 周斌孙骐韩明熊斌吴广明黄耀东沈军
- 关键词：离子束刻蚀
- 纳米SiO_2颗粒对PU树脂热稳定性能的影响被引量：16
- 2003年
- 采用溶胶 -凝胶法制备纳米SiO2 颗粒 ,并以此制备了SiO2 /PU复合材料 ,用扫描电子显微镜、红外光谱仪、量热示差扫描仪和热重法分别表征了纳米复合树脂材料的结构和形态及热稳定性。结果表明 ,纳米SiO2 能够均匀地以纳米尺寸分散于PU树脂中 ,并与PU中的基团发生了化学反应 ,形成了键合。SiO2 对PU树脂的耐低温性能影响不大 ,却提高了树脂的热稳定性能 ,使树脂的使用温度范围变宽。
- 张志华沈军吴广明夏长生杨帆孙骐倪星元
- 关键词：纳米SIO2颗粒PU树脂纳米二氧化硅
- SiO2气凝胶的常压干燥制备
- 采用工业化原料制备SiO气凝胶,克服了传统的超临界干燥工艺的高温高压过程,采用表面修饰结合常压干燥工艺,简化生产流程并降低成本,实现疏水型SiO气凝胶的制备。测量显示,所得样品具有纳米多孔结构,且有较好的疏水特性;密度为...
- 黄耀东周斌沈军吴广明孙骐夏长生艾琳
- 关键词：SIO2气凝胶疏水表面修饰常压干燥
- 文献传递
- SiO_2不同的掺杂方式对聚氨酯树脂材料性能的影响被引量：15
- 2003年
- 采用溶胶-凝胶法制备纳米SiO_2颗粒,然后在聚氨酯弹性体/SiO_2复合材料的不同制备方法方面进行了尝试,并针对SiO_2不同的掺杂方式对聚氨酯树脂材料性能的影响进行了研究,为聚氨酯弹性体性能的优化提供了一条最佳的思路和方法。利用红外分光光度计(IR)、万能电子试验机、动态力学分析仪(DMA)、量热示差扫描仪(DSC)、紫外/可见/近红外分光光度计(UV/VIS/VIR)分别表征了纳米复合树脂材料的结构、力学性能、热稳定性、展色性和干爽性。
- 张志华沈军吴广明夏长生杨帆付甜孙骐王珏
- 关键词：溶胶-凝胶法纳米SIO2聚氨酯树脂人造皮革
- 深振幅Al调制靶的化学腐蚀制备工艺研究被引量：3
- 2005年
- 介绍了用于惯性约束聚变分解实验的铝调制靶的制备。以半导体光刻工艺结合化学腐蚀工艺在铝箔表面引入周期为50μm的条槽图形,研究腐蚀条件对腐蚀速率的影响;采用光学显微镜、扫描电镜和台阶仪对图形形貌和样品表面成分进行测量和分析,获得厚度在32μm左右、腐蚀深度达到20μm的铝调制靶。
- 孙骐周斌杨帆沈军吴广明
- 关键词：惯性约束聚变化学腐蚀
- ICF分解实验中的平面调制靶的研究与制备
- 周斌沈军王珏吴广明孙骐黄耀东艾琳
- 该项目来源于国防科工委，研究成果可根据分解实验的要求，提供所需的不同参数要求的平面调制靶。
- 关键词：
- 关键词：平面调制靶
- 纳米复合保温材料
- 周斌吴广明倪星元陆卫昌徐律明徐纪平徐荣昆郭艳芝程银兵孙骐黄耀东
- 该项目以廉价的多聚硅（E-40）作为硅源，以乙醇为溶剂，以HF为催化剂采用溶胶-凝胶法快速制备了SiO_2气凝胶。具有工艺简单、成本低、可调范围大、重复性好的优点。以三甲基氯硅烷（TMCS）和六甲基二硅醚（简称DMMOS...
- 关键词：
- 关键词：气凝胶保温隔热热力学
