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付秉相

作品数：5 被引量：5H指数：1
供职机构：中国科学院电子学研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家重点实验室开放基金更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术理学生物学更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇期刊文章
  • 1篇会议论文
  • 1篇科技成果

领域

  • 2篇电子电信
  • 2篇自动化与计算...
  • 1篇生物学
  • 1篇理学

主题

  • 3篇感器
  • 3篇传感
  • 3篇传感器
  • 1篇导电
  • 1篇电极
  • 1篇多孔薄膜
  • 1篇氧化锡
  • 1篇生物传感
  • 1篇生物传感器
  • 1篇气敏
  • 1篇气敏特性
  • 1篇微流控
  • 1篇微流控芯片
  • 1篇灵敏度
  • 1篇敏度
  • 1篇化学传感器
  • 1篇二氧化锡
  • 1篇高灵敏
  • 1篇高灵敏度
  • 1篇薄膜传感器

机构

  • 5篇中国科学院电...

作者

  • 5篇付秉相
  • 3篇韩泾鸿
  • 2篇李亚亭
  • 2篇王利
  • 2篇王于杰
  • 2篇蔡浩原
  • 2篇崔大付
  • 1篇苏波
  • 1篇陈绍凤
  • 1篇申功烈
  • 1篇陈德勇
  • 1篇刘长春
  • 1篇王悦
  • 1篇王莉
  • 1篇李建平
  • 1篇王明
  • 1篇赵强
  • 1篇郑自攀
  • 1篇李自高
  • 1篇赵湛

传媒

  • 2篇真空科学与技...
  • 1篇功能材料与器...
  • 1篇第八届敏感元...

年份

  • 1篇2004
  • 1篇2003
  • 2篇1998
  • 1篇1996
共 5 条 记 录，以下是 1-5
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排序方式：
SPR—2000型生物传感器系统的高灵敏度性能测试
SPR—2000型生物传感器系统又称SPR生化分析仪,是由中科院电子学研究所结合十余年的科研探索,自行设计制造的新一代生物传感器.SPR(Surface Plasmon Resonance)生物传感技术具有无需标记、快速...
王于杰崔大付蔡浩原郑自攀李亚亭付秉相
关键词：生物传感器灵敏度
文献传递
基于微电子机械加工技术的DNA芯片研究
崔大付赵湛王利韩泾鸿王于杰付秉相刘长春王明李亚亭蔡浩原陈翔赵强王海宁苏波
利用实验室成熟的MEMS技术和微细加工工艺，发展了一系列微流控芯片，取得了一些极有价值的科研成果，研制了两种基于SPE法的DNA样品处理芯片，并成功地在芯片上完成了DNA样品的提取，发展了基于生物素－亲和素介导法固定DN...
关键词：
关键词：MEMS技术微流控芯片DNA
多孔SnO_2薄膜的导电和气敏特性被引量：5
1998年
用RGTO方法制备多孔、颗粒状SnO2薄膜；根据SEM观察结果建立简单导电模型，并验证其导电机制主要是晶界导电；研究纯SnO2薄膜及掺杂SnO2薄膜对CO，乙醇等气体的气敏特性。掺Pt的薄膜对CO有很好的气敏响应；选择合适工作温度，可提高灵敏度改善选择性，用此种方法制得的薄膜具有良好的长期稳定性、非常短的响应和恢复时间等特点。
王悦李建平韩泾鸿付秉相
关键词：薄膜传感器多孔薄膜导电气敏特性二氧化锡
固态薄膜可重编程的模拟可变电阻存储器的制造和性能
1998年
介绍氧化钨基永久性的电可重编程的可变电阻器作为用于电子神经网络的模拟突触记忆联接器。该器件具有类晶体管的多层薄膜器件结构，它是依次由直流溅射和电子束蒸发工艺沉积到一个绝缘衬底，即衬底／Ni／WO3／SiO／Cr2O3／SiO／Al。用电压控制H+离子可逆地内插和去插到WO3薄膜来调制电阻。一个吸湿的Cr2O3薄膜用作H+离子源。该器件电阻可以特制和稳定在很宽的动态范围（约105～109Ω），并且编程速度受控制电压调制。讨论了该器件在响应速度、可逆性、稳定性和循环性方面的适应能力。
申功烈欧军李自高付秉相王莉
BSC──ISFET的特殊工艺研究
1996年
本文研究了背面引线离子敏感场效应器件Ｂａｃｋｓｉｄｅｃｏｎｔａｃｔｉｏｎｓｅｎｓｉｔｉｖｅｆｉｅｌｄｅｆｆｅｃｔｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ（ＢＳＣ－ＩＳＦＥＴ）的特殊工艺技术。重点阐述了双面光刻，各向异性腐蚀，深坑加工，腐蚀自停止等技术，实现了源漏电极从芯片背面引出，给出了扫描电镜分析照片。提出了一个合理，实用的腐蚀配方及条件：在７７℃恒温腐蚀溶液中（ＫＯＨ：ＩＰＡ：Ｈ２Ｏ＝２５．６：１６．５ｍｌ：６０ｍｌ），腐蚀约５小时３０分钟，腐蚀速率为５５μｍ／ｈ－６０μｍ／ｈ。得到了光滑、平整的坑底和坑壁，棱角分明斜度正常（５４．７°），重复性好，实验结果表明其接触电阻小于４Ω，达到ＢＳＣ－ＩＳＦＥＴ设计要求。
陈绍凤韩泾鸿陈德勇王利付秉相
关键词：场效应器件传感器化学传感器
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