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文献类型

  • 3篇中文期刊文章

领域

  • 3篇电子电信

主题

  • 3篇光栅
  • 1篇衍射
  • 1篇衍射强度
  • 1篇微电子
  • 1篇微电子加工
  • 1篇列数
  • 1篇均匀分布

机构

  • 2篇南京师范大学
  • 1篇南京理工大学
  • 1篇电子部
  • 1篇中国电子科技...
  • 1篇中华人民共和...

作者

  • 3篇聂守平
  • 3篇陈伯荣
  • 1篇陶纯堪
  • 1篇魏晓燕
  • 1篇高万荣
  • 1篇赵琦
  • 1篇刘明

传媒

  • 1篇中国激光
  • 1篇激光杂志
  • 1篇激光与红外

年份

  • 2篇2001
  • 1篇1999
3 条 记 录,以下是 1-3
排序方式:
大阵列数光阵列发生器研究
2001年
研究了产生大阵列数的光阵列发生器的设计与加工 ,设计并加工了产生一维 6 4点阵和二维 40 96点阵的光阵列发生器。
聂守平魏晓燕陈伯荣
关键词:光栅
衍射强度均匀分布的二元位相光栅被引量:3
1999年
研究了衍射强度均匀分布的二元位相光栅的设计原理,利用微电子工艺加工了16个衍射点强度均匀分布的二元位相光栅,并给出了实验结果。
聂守平刘明高万荣高万荣陶纯堪赵琦
关键词:衍射强度光栅
光阵列发生器微电子加工被引量:1
2001年
研究了光阵列发生器的微电子加工工艺 ,设计并加工了一维和二维光阵列发生器 ,通过实验测试了其性能。
聂守平陈伯荣
关键词:光栅微电子加工
共1页<1>
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