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秦龙

作品数：4 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院半导体研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 3篇调谐
  • 3篇可调
  • 3篇可调谐
  • 3篇空气隙
  • 3篇分子束
  • 3篇分子束外延
  • 3篇波长
  • 3篇波长可调
  • 3篇波长可调谐
  • 2篇悬臂
  • 2篇悬臂结构
  • 2篇砷化镓
  • 2篇微光机电系统
  • 2篇刻蚀
  • 2篇光机
  • 2篇光机电
  • 2篇干法刻蚀
  • 1篇电器件
  • 1篇砷化铝
  • 1篇砷化镓衬底

机构

  • 4篇中国科学院

作者

  • 4篇秦龙
  • 3篇朱彬
  • 3篇韩勤
  • 3篇杨晓红
  • 3篇鞠研玲
  • 3篇李文兵
  • 1篇杜云
  • 1篇倪海乔

年份

  • 1篇2012
  • 1篇2010
  • 2篇2009
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
一种制作基于微光机电系统的波长可调谐滤波器的方法
本发明公开了一种制作基于微光机电系统的波长可调谐滤波器的方法，该方法包括：用分子束外延方法生长用于制作滤波器的外延片；对该外延片进行清洗，并对该外延片进行第一次光刻，光刻出单悬臂图形；采用电感耦合等离子体刻蚀方法对该具有...
秦龙韩勤杨晓红朱彬鞠研玲李文兵
一种利用稀盐酸选择腐蚀砷化铝制作空气隙结构的方法
一种利用稀盐酸选择腐蚀砷化铝牺牲层制作空气隙结构的方法，包括如下步骤：a>用分子束外延技术在(001)砷化镓衬底上生长带有砷化铝牺牲层的结构，砷化铝牺牲层上是由砷化镓和砷化铝镓构成的分布布拉格反射镜；b>在晶...
李文兵韩勤秦龙杨晓红倪海乔杜云朱彬鞠研玲
文献传递
砷化镓基波长可调谐垂直腔型半导体光电器件的研究
波长可调谐的垂直腔型半导体光电器件，如波长可调谐的滤波器、波长可调谐的共振腔增强型探测器(RCE-PD)和垂直腔型面发射激光器(VCSEL)，由于其独特的波长可调谐、易于集成、利于高频工作等特性，在光纤通信和光网络、光互...
秦龙
一种制作基于微光机电系统的波长可调谐滤波器的方法
本发明公开了一种制作基于微光机电系统的波长可调谐滤波器的方法，该方法包括：用分子束外延方法生长用于制作滤波器的外延片；对该外延片进行清洗，并对该外延片进行第一次光刻，光刻出单悬臂图形；采用电感耦合等离子体刻蚀方法对该具有...
秦龙韩勤杨晓红朱彬鞠研玲李文兵
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