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柴雅婷
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连续离子层吸附反应法制备铜铟硒化合物薄膜的方法
本发明公开了一种连续离子层吸附反应法制备铜铟硒化合物薄膜的方法,步骤为(1)制备Cu-In混合阳离子前驱体溶液,(2)制备阴离子前驱体溶液,(3)连续离子层吸附反应法工艺镀膜,(4)热处理。本发明首次采用三乙醇胺(TEA...
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