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李荣玉

作品数：3 被引量：4H指数：1
供职机构：清华大学更多>>
相关领域：一般工业技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 2篇质谱
  • 2篇离子束
  • 2篇聚焦离子束
  • 2篇飞行时间质谱
  • 1篇电源
  • 1篇亚微米
  • 1篇掩模
  • 1篇质谱计
  • 1篇质谱仪
  • 1篇扫描电子显微...
  • 1篇双极性
  • 1篇偏转放大器
  • 1篇微米
  • 1篇稳压
  • 1篇稳压电源
  • 1篇离子显微镜
  • 1篇间质
  • 1篇放大器
  • 1篇飞行时间质谱...
  • 1篇飞行时间质谱...

机构

  • 3篇清华大学

作者

  • 3篇李荣玉
  • 2篇陆家和
  • 1篇薛钰芝
  • 1篇张志远
  • 1篇薛祖庆

传媒

  • 1篇微细加工技术
  • 1篇真空科学与技...

年份

  • 1篇1990
  • 1篇1989
  • 1篇1988
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
亚微米聚焦离子束的获得飞行时间质谱计的设计
李荣玉
扫描离子显微镜的研究被引量：4
1990年
扫描离子显微镜-飞行时间质谱仪(即SIM/ToF-SIMS)的研究是表面分析领域的前沿课题。本文叙述了其前半部分,自制SL-1型扫描离子显微镜的原理、设计加工及实验结果。Ga离子束能12keV时,束流1×10^(-9)A、束径达亚微米,并得到ISE及ISI两种象。
薛钰芝李荣玉薛祖庆陆家和
关键词：离子显微镜飞行时间质谱仪SIMS聚焦离子束掩模扫描电子显微镜
双极性高压稳压电源及高稳定偏转放大器
1989年
离子探针在样品上大范围扫描时,需要比较高的偏转电压,为此我们研制了一台高稳定高压偏转放大器,其输出电压为±400伏,稳定度为5×10^(-6),带宽为25kHz;同时研制了一台纹波小于10mV,输出电流大于50mA的±500伏稳压电源。
李荣玉陆家和张志远
关键词：偏转放大器稳压电源
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