张立江
- 作品数：2 被引量：5H指数：1
- 供职机构：清华大学深圳研究生院更多>>
- 发文基金：国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 等离子体增强化学气相沉积端面减反膜的研究被引量：5
- 2004年
- 利用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术制作半导体有源器件端面减反膜的方法简单易行,且适合进行大规模在片制作。采用1/4波长匹配法对减反膜的折射率、膜厚及其容差进行了理论设计,并在选定折射率下,对PECVD的沉积速率进行了测量。在此基础上,制作了1.31μmInGaAsP氧化膜条形结构超辐射发光二极管,通过测定输出光谱调制系数的方法确定出减反射膜的反射率为6.8×10-4,并且具有很好的可重复性。
- 张立江熊兵王健孙长征钱可元罗毅
- 关键词：减反射膜等离子体增强化学气相沉积
- 照明用大功率LED封装技术与驱动方法的研究
- 本文详细分析了照明用大功率LED的封装技术,在大量实验的基础上,提出了一些具体的解决方案,采用了独特的封装结构设计,介绍了我们在光路优化、色度均匀性、改善散热条件、提高出光效率等方面所作的探索。并对LED列阵的驱动电路和...
- 钱可元张立江胡飞吴慧颖罗毅
- 关键词：封装技术倒装焊出光效率光芯片光谱强度
- 文献传递
