高成臣
- 作品数：59 被引量：2H指数：1
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- 一种微型器件热区的外部加热装置
- 本发明公开了一种微型器件热区的外部加热装置，包括加热器11，支撑绝缘毛细管12和加热探针13组成的加热部分，用于实现微型器件热区的加热，温度传感器21和温度控制器22组成的恒温部分，用于恒定加热部分的温度，显微镜31，微...
- 赵琦张扬熙郝一龙高成臣
- 文献传递
- 一种抑制振动干扰的热式声矢量传感器及其实现方法
- 本发明公开了一种抑制振动干扰的热式声矢量传感器及其实现方法。本发明在加热梁和两根声音敏感梁的外侧又集成两根振动敏感梁，作为振动信号的敏感结构，形成五线式结构；声音敏感梁距离加热梁较近，而且宽度更窄，因此截止频率较高，对高...
- 陈旺楠朱哲政杨凌濛杨振川高成臣郝一龙
- 一种声场增强微结构的MEMS热式声粒子振速传感器及方法
- 本发明公开了一种声场增强微结构的MEMS热式声粒子振速传感器及方法。本发明采用片上集成的声场自增强通孔，在利用MEMS工艺加工加热测温横梁时同时完成声场自增强通孔的加工，无需使用宏观机械加工手段设计声场增强的封装结构，封...
- 李哲常文涵孙守乐高成臣郝一龙
- 文献传递
- 一种低噪声热式质点振速传感器及其实现方法
- 本发明公开了一种低噪声热式质点振速传感器及其实现方法。本发明采用在流道上设置偶数个测温电阻，并且在测温电阻内设置奇数个加热电阻，通过选择加热电阻的材料，减小加热电阻的温度电阻系数TCR，同时增加加热电阻的宽度w，减小加热...
- 朱哲政陈旺楠杨凌濛杨振川高成臣郝一龙
- 高温压力传感器测试装置
- 本发明本发明公开了一种超高温度时压力传感器的测试装置，包括一端封闭另一端开放的不锈钢管1，热电阻2，三通接头5，航空插头6组成的密封测试部分，用于提供高温压力传感器测试所需的密封环境；电炉7组成的加热部分，用于提供高温压...
- 刘冠东胡杭崔万鹏李哲高成臣郝一龙
- 文献传递
- 差分式高精度加速度计的加工方法
- 本发明公开了一种差分式高精度加速度计的加工方法，加速度计包括自上而下依次连接的电极盖板、梁-质量块结构的可动硅结构组件、下电极盖板，该方法包括：采用玻璃片或单晶硅圆片作为基片，加工所述上电极板和下电极板；以双器件层SOI...
- 高成臣胡启方郝一龙
- 一种对硅微加速度计结构参数的圆片级测试方法
- 本发明公开了一种对硅微加速度计结构参数的圆片级测试方法，涉及一种带有弹性膜-质量块结构的硅微加速度计和硅膜制备工艺的腐蚀深度控制及结果检测。该硅微加速度计上的该弹性膜-质量块结构同时对外界加速度和压力敏感，在圆片级测试中...
- 张扬熙高成臣郝一龙
- 文献传递
- 一种硅压阻式压力传感器封装结构及封装方法
- 本发明公开了一种硅压阻式压力传感器封装结构及封装方法，所述硅压阻式压力传感器芯片通过粘胶固定在接线基座上，硅压阻式压力传感器芯片的输入输出电极通过键合引线与引线柱实现电信号连接，通过化学气相沉积的方法将派瑞林薄膜覆盖包裹...
- 聂少校孟凡瑞高成臣杨振川
- 一种耐高温欧姆接触电极结构及其加工方法
- 本发明公开了一种耐高温欧姆接触电极结构及其加工方法，该电极结构自上而下包括：金导电层6，铂粘附层5，氮化钛阻挡层4，钛粘附层3，二硅化钛2/硅欧姆接触。使用硅化物自对准技术制备二硅化钛/硅欧姆接触，该接触有良好的热稳定性...
- 刘冠东张帆顺崔万鹏高成臣郝一龙
- 文献传递
- MEMS电容式表压压力传感器研究
- 2025年
- 微型电容式压力传感器在生物医疗、无人机定位、可穿戴设备等领域有着重要的应用价值。本研究以MEMS电容式表压压力传感器为研究对象,面向植入式生物医疗应用设计并制造了一款高精度的压力传感器。本器件由带固定极板的玻璃衬底和带膜片的SOI晶圆通过阳极键合形成。当存在压强差时,膜片产生形变导致器件电容的变化,进而读出电路通过检测变化电容计算出外界压强。在结构设计上,本文提出了带膜片的凸台设计,实现了对电容式压力传感器非线性问题的改善,在ANSYS有限元仿真下,非线性度由无膜片的约17%改善到7%。凸台结构的制造工艺采用TMAH对硅的各向异性腐蚀而成,并将SOI埋氧层作为停止层得到了较高的器件一致性。最后搭建了电容式压力传感器的封装测试平台,并对输出结果进行标定。最终在0~40kPa相对大气压的压力值的测量范围下,本器件实现了0.30%的测试精度、8%的非线性度以及低至0.09%的重复性误差。
- 蒋沛奇周聪张誉舰孟凡瑞杨振川高成臣
- 关键词：电容式压力传感器阳极键合
